等离子体室的具有衬底支撑组件的承载环主体

Abstract

1.本外观设计产品的名称：等离子体室的具有衬底支撑组件的承载环主体。 2.本外观设计产品的用途：本产品整体用于半导体制造设备，本产品局部用于半导体制造设备中使用的等离子室的具有衬底支撑组件的承载环。 3.本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。 4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1组合状态立体图3。 5.指定设计1为基本设计。 6.其他需要说明的情形其他说明：组件1为承载环，组件2为用于承载环的衬底支撑组件，组合状态对应将3件衬底支撑组件安装在承载环中；图中虚线为不需要保护部分。

Inventors

萨伊·拉查孔达
伦纳德·许
拉维·帕马
维贾伊·科塔帕利

Assignees

朗姆研究公司

Dates

Publication Date: 20260505
Application Date: 20250102
Priority Date: 20240702