原子层沉积设备

Abstract

1.本外观设计产品的名称：原子层沉积设备。 2.本外观设计产品的用途：用于在基底表面制备原子级精度的薄膜。 3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。 4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。 5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。