CN-309976845-S - 晶圆清洗机（单片集成多工艺款）
CN309976845SCN 309976845 SCN309976845 SCN 309976845SCN-309976845-S
Abstract
1.本外观设计产品的名称：晶圆清洗机（单片集成多工艺款）。 2.本外观设计产品的用途：用于碳化硅晶圆的清洗，并在清洗后对晶圆进行干燥。 3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。 4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
Inventors
- 毛得吉
- 李伟
- 曹岸
Assignees
- 微成半导体设备(苏州)有限公司
Dates
- Publication Date
- 20260512
- Application Date
- 20251111