CN-309976984-S - 晶圆托盘
CN309976984SCN 309976984 SCN309976984 SCN 309976984SCN-309976984-S
Abstract
1.本外观设计产品的名称：晶圆托盘。 2.本外观设计产品的用途：用于气相沉积设备中承载基片。 3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。 4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图。 5.设计1右视图与设计1左视图对称，省略设计1右视图;设计1仰视图与设计1俯视图对称，省略设计1仰视图;设计2仰视图与设计2俯视图对称，省略设计2仰视图。 6.指定设计1为基本设计。
Inventors
- 代宇通
- 汪国元
- 黄稳
- 姜勇
Assignees
- 中微半导体设备(上海)股份有限公司
Dates
- Publication Date
- 20260512
- Application Date
- 20250828