DE-102021207480-B4 - AUSBILDUNGSVORRICHTUNG FÜR EIN SCHUTZELEMENT

Abstract

Ausbildungsvorrichtung (1) für ein Schutzelement (210), die ein Schutzelement (210) an einer Oberfläche (203) eines plattenförmigen Werkstücks (200) ausbildet, wobei die Ausbildungsvorrichtung für ein Schutzelement (210) aufweist: einen Anwendungstisch (10) für ultraviolette Strahlung, der das Werkstück (200) an einer Trägeroberfläche (121) einer Trägerplatte (12) des Anwendungstischs (10) für ultraviolette Strahlung trägt, wobei die Trägerplatte (12) so ausgestaltet ist, dass ultraviolette Strahlung von einer ultravioletten Strahlungsquelle (13), die in dem Anwendungstisch (10) für ultraviolette Strahlung angeordnet ist, durch die Trägerplatte (12) transmittiert werden kann; eine Folienplatzierungseinheit (50), die an der Trägeroberfläche (121) eine Folie (213) platziert, die größer als das Werkstück (200) ist und durch welche die ultraviolette Strahlung transmittiert werden kann; eine Kunststoffzufuhreinheit (20), die einen ultraviolett aushärtbaren flüssigen Kunststoff (214) zu der Folie (213) zuführt, die an der Trägeroberfläche (121) platziert ist; eine Druckeinheit, die das Werkstück (200) von einer anderen Oberfläche des Werkstücks (200) zu dem flüssigen Kunststoff (214) drückt, der zu der Folie (213) zugeführt wurde, die an der Trägeroberfläche (121) platziert ist; eine Entnahmeeinheit, die die Folie hält, an welcher das Werkstück (200) mit dem flüssigen Kunststoff, das durch die ultravioletten Strahlen ausgehärtet wurde, der zwischen der Folie und dem Werkstück (200) angeordnet ist, fixiert ist, und das Werkstück (200) von dem Anwendungstisch (10) für ultraviolette Strahlung entnimmt; und eine Ionisierungseinheit (60), die ionisierte Luft zu der Trägeroberfläche (121) des Anwendungstischs (10) für ultraviolette Strahlung ausstößt, wobei, wenn die Folie (213) von der Trägeroberfläche (121) durch die Entnahmeeinheit beabstandet ist, die ionisierte Luft (61), die von der Ionisierungseinheit (60) ausgestoßen wird, entlang der Trägeroberfläche (121) in einen Spalt zwischen der Folie und der Trägeroberfläche (121) eingebracht wird.

Inventors

• Yoshinori KAKINUMA

Assignees

• DISCO CORPORATION

Dates

Publication Date

20260507

Application Date

20210714

Priority Date

20200722

Claims (2)

1. Ausbildungsvorrichtung (1) für ein Schutzelement (210), die ein Schutzelement (210) an einer Oberfläche (203) eines plattenförmigen Werkstücks (200) ausbildet, wobei die Ausbildungsvorrichtung für ein Schutzelement (210) aufweist: einen Anwendungstisch (10) für ultraviolette Strahlung, der das Werkstück (200) an einer Trägeroberfläche (121) einer Trägerplatte (12) des Anwendungstischs (10) für ultraviolette Strahlung trägt, wobei die Trägerplatte (12) so ausgestaltet ist, dass ultraviolette Strahlung von einer ultravioletten Strahlungsquelle (13), die in dem Anwendungstisch (10) für ultraviolette Strahlung angeordnet ist, durch die Trägerplatte (12) transmittiert werden kann; eine Folienplatzierungseinheit (50), die an der Trägeroberfläche (121) eine Folie (213) platziert, die größer als das Werkstück (200) ist und durch welche die ultraviolette Strahlung transmittiert werden kann; eine Kunststoffzufuhreinheit (20), die einen ultraviolett aushärtbaren flüssigen Kunststoff (214) zu der Folie (213) zuführt, die an der Trägeroberfläche (121) platziert ist; eine Druckeinheit, die das Werkstück (200) von einer anderen Oberfläche des Werkstücks (200) zu dem flüssigen Kunststoff (214) drückt, der zu der Folie (213) zugeführt wurde, die an der Trägeroberfläche (121) platziert ist; eine Entnahmeeinheit, die die Folie hält, an welcher das Werkstück (200) mit dem flüssigen Kunststoff, das durch die ultravioletten Strahlen ausgehärtet wurde, der zwischen der Folie und dem Werkstück (200) angeordnet ist, fixiert ist, und das Werkstück (200) von dem Anwendungstisch (10) für ultraviolette Strahlung entnimmt; und eine Ionisierungseinheit (60), die ionisierte Luft zu der Trägeroberfläche (121) des Anwendungstischs (10) für ultraviolette Strahlung ausstößt, wobei, wenn die Folie (213) von der Trägeroberfläche (121) durch die Entnahmeeinheit beabstandet ist, die ionisierte Luft (61), die von der Ionisierungseinheit (60) ausgestoßen wird, entlang der Trägeroberfläche (121) in einen Spalt zwischen der Folie und der Trägeroberfläche (121) eingebracht wird.
2. Ausbildungsvorrichtung (1) für ein Schutzelement (210) nach Anspruch 1 , ferner aufweisend eine lichtblockierende Abdeckung (40), die ein lichtblockierendes Element beinhaltet, das einen Raum über der Trägeroberfläche (121) des Anwendungstischs (10) für ultraviolette Strahlung bedeckt; und einen lichtblockierenden Verschluss (41), der einen Abschnitt der lichtblockierenden Abdeckung (40) öffnet und schließt, um der Entnahmeeinheit (50) zu ermöglichen, in den Raum einzutreten, wobei, wenn der lichtblockierende Verschluss (41) den Abschnitt der lichtblockierenden Abdeckung (40) öffnet, ein Teil der ionisierten Luft (61), die von der Ionisierungseinheit (60) ausgestoßen wird, in einer solchen Orientierung aufgebracht wird, dass sie einen Endbereich der Folie in der Nähe des lichtblockierenden Verschlusses (41) gegen die Trägeroberfläche (121) drückt.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG Technisches Gebiet Die vorliegende Erfindung betrifft eine Ausbildungsvorrichtung für ein Schutzelement. Beschreibung des Stands der Technik Prozesse zum Herstellen von Halbleiter-Bauelementchips und verschiedenen Arten von elektronischen Teilen beinhalten die Schritte des dünnen Ausgestaltens eines plattenförmigen Werkstücks wie einem Wafer mit verschiedenen Bauelementen daran ausgebildet und Teilen solcher plattenförmiger Werkstücke in Bauelementchips. Das Werkstück wird bearbeitet, während es an einem Einspanntisch gehalten wird. Um zu verhindern, dass das Werkstück gebrochen wird, wenn es bearbeitet wird, weist das Werkstück seine Flächenseite durch eine Kunststofffolie wie einem haftvermittelnden Band oder einem Substrat geschützt auf, das an der Flächenseite angebracht ist. Falls ein Werkstück, das bearbeitet werden soll, Oberflächenunebenheiten wie Erhöhungen von Metallelektroden an seiner Flächenseite aufweist, dann ist es schwierig, das haftvermittelnde Band an den Oberflächenunebenheiten in engen Kontakt an diesen anzubringen und Verschmutzungen und ein Bearbeitungsfluid tendiert dazu, in die Lücken zwischen den Oberflächenunebenheiten und dem haftvermittelnden Band, das daran angebracht ist, einzudringen. Darum wird ein haftvermittelndes Band einfach von den Oberflächenunebenheiten abgelöst. Ferner, da das haftvermittelnde Band nicht dazu geeignet ist, Oberflächenunebenheiten ausreichend auszugleichen, wenn die hintere Seite des Werkstücks geschliffen wird, um das Werkstück dünn auszugestalten, tendieren solche Oberflächenunebenheiten dazu, an das Werkstück übertragen zu werden. Als eine Lösung dieses Problems wurde ein Bearbeitungsverfahren vorgeschlagen, in dem ein flüssiger Kunststoff, der durch eine äußere Anregung wie einer ultravioletten Strahlung ausgehärtet werden kann, aufgebracht wird, um eine flache Schicht als ein Schutzelement auszubilden (siehe zum Beispiel das japanische Patent JP 6 312 343 B2 und die japanische Offenlegungsschrift JP 2017- 168 565 A ). JP 2017- 168 565 A betrifft eine Ausbildungsvorrichtung für ein Schutzelement. DE 10 2015 216 619 B4 betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten eines Wafers. DE 602 23 208 T2 betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung eines plattenartigen Körpers. US 2018 / 0 253 012 A1 betrifft eine Belichtungsvorrichtung. US 2010 / 0 154 558 A1 betrifft ein Belichtungsverfahren. DARSTELLUNG DER ERFINDUNG Der flüssige Kunststoff, der in dem Bearbeitungsverfahren, das in dem japanische Patent Nr. 6312343 oder der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 2017-168565 offenbart ist, wird zu einer Schutzfolie aus Kunststoff zugeführt, die auf einem Anwendungstisch für ultraviolette Strahlung aus Glas liegt und wird durch das Werkstück verteilt und dann wird eine ultraviolette Strahlung aufgebracht, um den flüssigen Kunststoff auszuhärten. Die Schutzfolie und der flüssige Kunststoff, die so daran ausgehärtet werden, bilden ein Schutzelement (tatsächlich wird ein Schutzfilm in engen Kontakt mit der Flächenseite des Werkstücks gehalten, wodurch der flüssige Kunststoff und das Werkstück nicht miteinander in Kontakt kommen). Wenn die Schutzfolie mit dem Werkstück daran angebracht gehalten wird und von dem Anwendungstisch für ultraviolette Strahlung entnommen wird, tritt eine hohe Ablöseladung zwischen dem Glas des Anwendungstischs für ultraviolette Strahlung und dem Kunststoff der Schutzfolie auf und eine nächste Schutzfolie, die über den Anwendungstisch für ultraviolette Strahlung gelegt wird, wird dazu gebracht, in engen Kontakt mit dem Anwendungstisch für ultraviolette Strahlung zu kommen, und kann deswegen nicht von dem Anwendungstisch für ultraviolette Strahlung abgehoben werden. Es ist darum ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Ausbildungsvorrichtung für ein Schutzelement bereitzustellen, die dazu geeignet ist, die Schwierigkeit beim Abnehmen des Werkstücks mit einem Schutzelement, das an einer Oberfläche ausgebildet ist, zu reduzieren. In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Ausbildungsvorrichtung für ein Schutzelement bereitgestellt, die ein Schutzelement an einer Oberfläche eines plattenförmigen Werkstücks ausbildet. Die Ausbildungsvorrichtung für ein Schutzelement beinhaltet einen Anwendungstisch für ultraviolette Strahlung, der das Werkstück an einer Trägeroberfläche einer Trägerplatte trägt, durch welche ultraviolette Strahlen von einer ultravioletten Strahlungsquelle, die in dem Anwendungstisch für ultraviolette Strahlung angeordnet ist, übertragen werden können, eine Folienplatzierungseinheit, die eine Folie an der Trägeroberfläche platziert, die größer als das Werkstück ist, und durch welche ultraviolette Strahlen übertragen werden können, eine Kunststoffzufuhreinheit, die einen ultraviolett aushärtenden Kunststoff zu der Folie führt, die an der Trägeroberfläche platziert ist, eine Druckeinheit, die das Werkstück von einer anderen Oberfläche zu dem flüssigen Kunststoff drück