JP-2026063178-A5 -

Dates

Publication Date

20260512

Application Date

20260115

Description

本開示の基板処理装置は、基板を処理する複数の積層された処理モジュールのうちの一の処理モジュールに前記基板を受け渡す基板保持部と、 前記基板保持部が接続して設けられる基部と、 前記基部を昇降させる昇降部と、を備え、 前記昇降部は、 左右に並ぶと共に縦方向に伸長する複数のレール及び複数のシールベルトと、 前記各レールに共通し、前記基部を前記各レールの伸長方向に沿って昇降させる駆動機器と、を備え、 前記複数のレールに物理的に接続されて昇降し、前記基部が接続されるスライダを備え、 各シールベルトの一部は開口しており、前記開口に設けられる前記接続部材を介して前記スライダと前記基部が互いに接続されている。