Search

JP-2026076940-A - 循環式洗浄装置及びその制御方法

JP2026076940AJP 2026076940 AJP2026076940 AJP 2026076940AJP-2026076940-A

Abstract

【課題】占有スペースが不均一になる問題点が解決される循環式洗浄装置の提供。 【解決手段】トレイ出し入れ手段と第１の水平方向Ｄ２に沿ってトレイ出し入れ手段に並列する搬送手段と、第１の水平方向Ｄ２に沿って搬送手段に並列する洗浄手段と、第１の水平方向Ｄ２に沿って洗浄手段に並列する方向転換手段と、第２の水平方向Ｄ３に沿って洗浄手段に並列する乾燥手段と、を設けることで、各保持トレイ９２は搬送手段２と洗浄手段と方向転換手段と乾燥手段とを通過してからトレイ出し入れ手段内の収容ケース９１に戻るので、自動化の洗浄が実現される前提で、占有スペースが不均一になる問題点が解決され、各保持トレイ９２がトレイ出し入れ手段に回収される利便性が向上される。 【選択図】図３

Inventors

  • 楊智仁
  • 施國彰
  • 張范青

Assignees

  • 微勁精密有限公司

Dates

Publication Date
20260512
Application Date
20250613
Priority Date
20241024

Claims (10)

  1. トレイ出し入れ手段と、搬送手段と、洗浄手段と、方向転換手段と、乾燥手段と、を備え、収容ケース内の少なくとも１つの保持トレイを前記搬送手段と、前記洗浄手段と、前記方向転換手段と、前記乾燥手段とを順番に通過させて洗浄する循環式洗浄装置であって、 前記搬送手段は、所定の第１の水平方向に沿って前記トレイ出し入れ手段に並列するように設けられ、且つ、保持レールと、前記第１の水平方向に直交する第２の水平方向に沿って移動可能に前記保持レールに配置される前支持台と後支持台とを有するように構成されており、 前記洗浄手段は、前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段に並列するように設けられており、且つ、前記保持トレイの前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段から離れる移動を駆動し、且つ、前記保持トレイの洗浄に用いられるように構成されており、 前記方向転換手段は、前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段に並列するように設けられており、方向転換レールと、前記第２の水平方向に沿って移動可能に前記方向転換レールに配置される少なくとも１つの方向転換台座と、を有し、前記方向転換台座は前記保持トレイの前記第２の水平方向における移動を駆動するのに用いられるように構成されており、 前記乾燥手段は、前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段と前記方向転換手段との間に配置され、且つ、前記第２の水平方向に沿って前記洗浄手段に並列するように設けられており、前記乾燥手段は前記保持トレイの前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段に接近する移動を駆動すると共に前記保持トレイを乾燥させるのに用いられる、循環式洗浄装置。
  2. 前記トレイ出し入れ手段は、昇降レールと、前記第１の水平方向及び前記第２の水平方向の両方に直交する垂直方向に沿って移動可能に前記昇降レールに設けられる昇降台と、前記昇降台の前記搬送手段側に反対する側に隣設される駆動モジュールと、を有し、 前記昇降台は前記収容ケースを収容するのに用いられ、 前記駆動モジュールは前記保持トレイの前記搬送手段への接近を駆動するのに用いられる、請求項１に記載される循環式洗浄装置。
  3. 前記前支持台は前台座本体と、前記前台座本体の両側にそれぞれ回転可能に設けられる２つの前側コンベアと、を有し、各前記前側コンベアは共に前記保持トレイを前記第１の水平方向に沿って前記洗浄手段に接近させるように駆動し、 前記後支持台は後台座本体と、前記後台座本体の両側にそれぞれ回転可能に設けられる２つの後側コンベアと、を有し、各前記後側コンベアは共に前記保持トレイを前記第１の水平方向に沿って前記乾燥手段から離れさせるように駆動する、請求項１に記載される循環式洗浄装置。
  4. 前記洗浄手段は、前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段に並列するように設けられる洗剤洗浄モジュールと、前記第１の水平方向に沿って前記洗剤洗浄モジュールに並列するように設けられる脱イオン水水洗モジュールと、を有し、 前記洗剤洗浄モジュールは第１の洗浄スペースを画成する第１の洗浄筐体と、前記第１の洗浄スペースに位置し、且つ、前記保持トレイの前記第１の水平方向に沿う移動を駆動するのに用いられる第１のコンベアと、前記第１の洗浄スペースに位置し、且つ、前記保持トレイに向かって洗剤をかけるのに用いられる少なくとも１つの第１の洗浄ノズルと、を有し、 前記脱イオン水水洗モジュールは、第２の洗浄スペースを画成する第２の洗浄筐体と、前記第２の洗浄スペースに位置し、且つ、前記保持トレイの前記第１の水平方向に沿う移動を駆動するのに用いられる第２のコンベアと、前記第２の洗浄スペースに位置し、且つ、前記保持トレイに向かって脱イオン水をかけるのに用いられる少なくとも１つの第２の洗浄ノズルと、を有する、請求項１に記載される循環式洗浄装置。
  5. 前記乾燥手段は、前記第１の水平方向に沿って互いに離れて配置される２つの風乾モジュールを有し、 各前記風乾モジュールは、風乾スペースを画成する風乾筐体と、前記風乾スペースに位置し、且つ、前記保持トレイの前記第１の水平方向に沿う移動を駆動するのに用いられる風乾コンベアと、前記風乾スペースに位置し、且つ、前記保持トレイに向かって気体を吹き付けるのに用いられる風乾ノズルと、を有する、請求項１に記載される循環式洗浄装置。
  6. 前記方向転換台座は、方向転換台座本体と、前記方向転換台座本体の両側に回転可能に設けられる２つの方向転換コンベアと、を有する、請求項１に記載される循環式洗浄装置。
  7. 循環式洗浄装置を利用して収容ケース内に位置する複数の保持トレイを洗浄する循環式洗浄装置の制御方法であって、 前記循環式洗浄装置は、トレイ出し入れ手段と、所定の第１の水平方向に沿って前記トレイ出し入れ手段に並列するように設けられた搬送手段と、前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段に並列するように設けられた洗浄手段と、前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段に並列するように設けられた方向転換手段と、前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段と前記方向転換手段との間に配置され、且つ、前記第１の水平方向に直交する第２の水平方向に沿って前記洗浄手段に並列するように設けられた乾燥手段と、を備え、 各前記保持トレイは前記搬送手段と、前記洗浄手段と、前記方向転換手段と、前記乾燥手段とを順番に通過するように用いられ、 前記トレイ出し入れ手段は、昇降レールと、前記第１の水平方向及び前記第２の水平方向の両方に直交する垂直方向に沿って移動可能に前記昇降レールに配置され、且つ、前記収容ケースを収容するのに用いられる昇降台と、前記昇降台の前記搬送手段側に反対する側に隣設される駆動モジュールと、を有し、 前記搬送手段は保持レールと、前記第２の水平方向に沿って移動可能に前記保持レールに設けられる前支持台及び後支持台と、を有するように構成されており、 前記循環式洗浄装置の制御方法には、前記乾燥手段が複数の前記保持トレイにおけるいずれか１つを受け取るまで、前記トレイ出し入れ手段に、前記収容ケース内に位置する複数の前記保持トレイにおけるいくつかを順番に前記搬送手段に搬入させ続けるステップと、 前記乾燥手段が前記いずれか１つの保持トレイを受け取ると、前記搬送手段の前記後支持台を前記第２の水平方向に沿って前記乾燥手段へと移動させることで、前記乾燥手段から搬出される前記保持トレイを受け取らせるステップと、 前記搬送手段の前記前支持台を前記第２の水平方向に沿って前記洗浄手段に移動させて、前記前支持台に乗っている前記保持トレイを前記洗浄手段に搬入するステップと、 前記搬送手段の前記後支持台を前記第２の水平方向に沿って前記トレイ出し入れ手段へ移動させて、前記後支持台に乗っている前記保持トレイを前記トレイ出し入れ手段内に位置する前記収容ケースに搬入するステップと、 前記トレイ出し入れ手段の前記昇降台に前記収容ケースの前記垂直方向に沿った移動を駆動させることで、前記収容ケース内に位置する他の１つの前記保持トレイを前記垂直方向に沿って前記搬送手段に接近させるステップと、 前記搬送手段の前記前支持台を前記第２の水平方向に沿って前記トレイ出し入れ手段に移動させることで、前記トレイ出し入れ手段により搬出されて前記収容ケース内に位置する前記他の１つの前記保持トレイを受け取らせるステップと、が含まれる、循環式洗浄装置の制御方法。
  8. 前記ステップには、 前記トレイ出し入れ手段の前記昇降台に前記収容ケースを前記垂直方向に沿って移動させることで、前記収容ケース内の複数の前記保持トレイにおける１つを前記駆動モジュールに向かい合わせてから、前記駆動モジュールに前記１つの保持トレイを前記搬送手段の前記前支持台に搬入させるサブステップと、 前記前支持台を前記第２の水平方向に沿って前記洗浄手段へ移動させて、前記前支持台に乗っている前記保持トレイを前記洗浄手段に搬入するサブステップと、 前記前支持台を前記第２の水平方向に沿って前記トレイ出し入れ手段へ移動するサブステップと、が含まれる、請求項７に記載される循環式洗浄装置の制御方法。
  9. 循環式洗浄装置を利用して収容ケース内に位置する複数の保持トレイを洗浄する循環式洗浄装置の制御方法であって、 前記循環式洗浄装置は、トレイ出し入れ手段と、所定の第１の水平方向に沿って前記トレイ出し入れ手段に並列するように設けられた搬送手段と、前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段に並列するように設けられた洗浄手段と、前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段に並列するように設けられた方向転換手段と、前記第１の水平方向に沿って前記搬送手段と前記方向転換手段との間に配置され、且つ、前記第１の水平方向に直交する第２の水平方向に沿って前記洗浄手段に並列するように設けられた乾燥手段と、を備え、 各前記保持トレイは前記搬送手段と、前記洗浄手段と、前記方向転換手段と、前記乾燥手段とを順番に通過するように用いられ、 前記トレイ出し入れ手段は、昇降レールと、前記第１の水平方向及び前記第２の水平方向の両方に直交する垂直方向に沿って移動可能に前記昇降レールに配置され、且つ、前記収容ケースを収容するのに用いられる昇降台と、前記昇降台の前記搬送手段側に反対する側に隣設される駆動モジュールと、を有し、 前記搬送手段は保持レールと、前記第２の水平方向に沿って移動可能に前記保持レールに設けられる前支持台及び後支持台と、を有するように構成されており、 前記循環式洗浄装置の制御方法には、前記乾燥手段が複数の前記保持トレイにおけるいずれか１つを受け取るまで、前記トレイ出し入れ手段に、前記収容ケース内に位置する複数の前記保持トレイにおけるいくつかを順番に前記搬送手段に搬入させ続けるステップと、 前記乾燥手段が前記いずれか１つの保持トレイを受け取ると、前記搬送手段の前記後支持台を前記第２の水平方向に沿って前記乾燥手段へと移動させることで、前記乾燥手段から搬出される前記保持トレイを受け取らせるステップと、 前記搬送手段の前記前支持台を前記第２の水平方向に沿って前記洗浄手段に移動させて、前記前支持台に乗っている前記保持トレイを前記洗浄手段に搬入するステップと、 前記搬送手段の前記前支持台を前記第２の水平方向に沿って前記トレイ出し入れ手段に移動させて、前記トレイ出し入れ手段により搬出されて前記収容ケース内に位置する他の１つの前記保持トレイを受け取らせるステップと、 前記トレイ出し入れ手段の前記昇降台に前記収容ケースの前記垂直方向に沿った移動を駆動させるステップと、 前記搬送手段の前記後支持台を前記第２の水平方向に沿って前記トレイ出し入れ手段へ移動させて、前記後支持台に乗っている前記保持トレイを前記トレイ出し入れ手段内に位置する前記収容ケースに搬入するステップと、が含まれる、循環式洗浄装置の制御方法。
  10. 前記ステップには、 前記トレイ出し入れ手段の前記昇降台に前記収容ケースを前記垂直方向に沿って移動させることで、前記収容ケース内の複数の前記保持トレイにおける１つを前記駆動モジュールに向かい合わせてから、前記駆動モジュールに前記１つの保持トレイを前記搬送手段の前記前支持台に搬入させるサブステップと、 前記前支持台を前記第２の水平方向に沿って前記洗浄手段へ移動させて、前記前支持台に乗っている前記保持トレイを前記洗浄手段に搬入するサブステップと、 前記前支持台を前記第２の水平方向に沿って前記トレイ出し入れ手段へ移動するサブステップと、が含まれる、請求項９に記載される循環式洗浄装置の制御方法。

Description

本発明は洗浄装置に関し、特に、循環式洗浄装置及びその制御方法に関する。 近年、半導体ウエハ加工業界では、半導体ウエハの精密化、使用量の大幅な増加により、品質を維持しながら生産量を増加させることが重要な課題となっている。 例えば特許文献１に記載される既存のウエハ処理装置は、搬送コンベアを有する搬送手段と、搬入手段と、検査手段と、処理手段とから構成されている。しかし、このような従来のウエハ処理装置は、幅が狭く且つ長尺であるため、占有スペースが不均一になりやすい。 台湾特許出願公開第２０２３２５４５７Ａ号明細書 本発明の循環式洗浄装置の実施例の構成が示されるブロック図である。同実施例における収容ケース及び保持トレイが示される斜視図である。同実施例における収容ケース及び保持トレイが示される上面図である。同実施例におけるトレイ出し入れ手段と搬送手段と収容ケースと保持トレイとが示される斜視図である。同実施例におけるトレイ出し入れ手段と搬送手段と収容ケースと保持トレイとが示される上面図である。同実施例における洗浄手段と方向転換手段と乾燥手段と収容ケースと保持トレイとが示される一部斜視図である。同実施例における洗浄手段と方向転換手段と乾燥手段と収容ケースと保持トレイとが示される上面図である。同実施例を用いて収容ケース内に位置する複数の保持トレイを洗浄する様子が示される説明図である。同実施例の第１の制御方法が示されるフローチャートである。同実施例の第２の制御方法が示されるフローチャートである。 本発明の実施形態の目的、技術手段、及び利点をより明確に説明するために、以下、本発明の実施形態の添付図面を組み合わせて、本発明の実施形態における技術手段に対して明確且つ詳細に説明する。説明する実施形態は、本発明の一部の実施形態であり、すべての実施形態ではないことが明らかであろう。通常、添付図面に描きまた示す本発明の実施形態の部品は各種異なる配置で布置及び設計することができる。したがって、以下、添付図面中に提供した本発明の実施形態の詳細説明は、本発明の保護範囲に対していかなる制限も構成せず、単に本発明の選択された実施形態を示すのみである。 図１～図３に本発明の循環式洗浄装置の実施例が示されており、図示のように、本発明の循環式洗浄装置はトレイ出し入れ手段１と、搬送手段２と、洗浄手段３と、方向転換手段４と、乾燥手段５と、を備え、収容ケース９１（マガジン）内に収容される少なくとも１つの保持トレイ９２（ボート）を搬送手段２と、洗浄手段３と、方向転換手段４と、乾燥手段５とを順番に通過させて洗浄するのに適する。 説明の簡潔を期する観点から、以下では分けて説明する必要がない場合において収容ケース９１内に収容される１つの保持トレイ９２のみを例として説明する。 図示のように本発明の循環式洗浄装置はトレイ出し入れ手段１と、搬送手段２と、洗浄手段３と、方向転換手段４と、乾燥手段５と、を備える上、トレイ出し入れ手段１と搬送手段２と洗浄手段３と方向転換手段４と乾燥手段５との全てに信号的に接続する制御手段６をも備える。 図４と図５に示されるように、トレイ出し入れ手段１は昇降レール１１と、第１の水平方向Ｄ２及び第２の水平方向Ｄ３の両方に直交する垂直方向Ｄ１に沿って移動可能に昇降レール１１に配置される昇降台１２と、昇降台１２の搬送手段２側に反対する側に隣設される駆動モジュール１３と、を有する。駆動モジュール１３は保持トレイ９２を搬送手段２へ移動させるのに用いられる。この実施例において、昇降台１２は収容スペース１２１を４つ有し、この４つの収容スペース１２１はそれぞれ収容ケース９１を収容するのに用いられる。つまり、昇降台１２には複数の収容ケース９１を収容することができる。 搬送手段２は垂直方向Ｄ１に直交する第１の水平方向Ｄ２に沿ってトレイ出し入れ手段１に並列するように設けられる。搬送手段２は保持レール２１と、垂直方向Ｄ１及び第１の水平方向Ｄ２の両方に直交する第２の水平方向Ｄ３に沿って移動可能に保持レール２１に配置される前支持台２２及び後支持台２３を有する。 前支持台２２は前台座本体２２１と前台座本体２２１の両側にそれぞれ回転可能に設けられる２つの前側コンベア２２２と、を有し、各前側コンベア２２２は共に保持トレイ９２を第１の水平方向Ｄ２に沿って洗浄手段３に接近させるように駆動するのに用いられる。 後支持台２３は後台座本体２３１と、後台座本体２３１の両側にそれぞれ回転可能に設けられる２つの後側コンベア２３２と、を有し、各後側コンベア２３２は共に保持トレイ９２を第１の水平方向Ｄ２に沿って乾燥手段５から離れさせるように駆動するのに用いられる。 この実施例において、前台座本体２２１と後台座本体２３１とはいずれも摺動可能に保持レール２１に配置される。 図６及び図７に示されるように、洗浄手段３は第１の水平方向Ｄ２に沿って搬送手段２に並列するように設けられる。洗浄手段３は保持トレイ９２を第１の水平方向Ｄ２に沿って搬送手段２から離れさせるのに用いられると共に、且つ、保持トレイ９２の洗浄に用いられる。 洗浄手段３は、第１の水平方向Ｄ２に沿って搬送手段２に並列するように設けられる洗剤洗浄モジュール３１と、第１の水平方向Ｄ２に沿って洗剤洗浄モジュール３１に並列するように設けられる脱イオン水水洗モジュール３２と、を有する。 洗剤洗浄モジュール３１は第１の洗浄スペース３１２を画成する第１の洗浄筐体３１１と、第１の洗浄スペース３１２に位置し、且つ、保持トレイ９２の第１の水平方向Ｄ２に沿う移動を駆動するのに用いられる第１のコンベア３１３と、第１の洗浄スペース３１２に位置し、且つ、保持トレイ９２に向かって洗剤をかけるのに用いられる少なくとも１つの第１の洗浄ノズル３１４と、第１のコンベア３１３に隣接すると共に制御手段６に信号的に接続する第１のセンサ３１５と、を有する。この実施例において、第１のセンサ３１５は赤外線センサである。 この実施例の他の変化例において、第１の洗浄ノズル３１４の数は１つより多く、この実施例によって限定されない。 脱イオン水水洗モジュール３２は、第２の洗浄スペース３２２を画成する第２の洗浄筐体３２１と、第２の洗浄スペース３２２に位置し、且つ、保持トレイ９２の第１の水平方向Ｄ２に沿う移動を駆動するのに用いられる第２のコンベア３２３と、第２の洗浄スペース３２２に位置し、且つ、保持トレイ９２に向かって脱イオン水をかけるのに用いられる少なくとも１つの第２の洗浄ノズル３２４と、第２のコンベア３２３に隣接すると共に制御手段６に信号的に接続する第２のセンサ３２５と、を有する。この実施例において、第２のセンサ３２５は赤外線センサである。 この実施例の他の変化例において、第２の洗浄ノズル３２４の数は１つより多く、この実施例によって限定されない。 この実施例において、第１のコンベア３１３及び第２のコンベア３２３はいずれもチェーン付コンベヤベルトであるが、この実施例の他の変化例において、第１のコンベア３１３及び第２のコンベア３２３は１つのチェーン付コンベヤベルトによって実施され、または他のタイプのコンベアによって実施され、この実施例によって限定されない。 方向転換手段４は第１の水平方向Ｄ２に沿って搬送手段２に並列するように設けられており、且つ、方向転換レール４１と、第２の水平方向Ｄ３に沿って移動可能に方向転換レール４１に配置される２つの方向転換台座４２と、を有し、方向転換台座４２は保持トレイ９２の第２の水平方向Ｄ３における移動を駆動するのに用いられるように構成されている。ちなみに、方向転換手段４は１つの方向転換台座４２のみを用いて保持トレイ９２の第２の水平方向Ｄ３における移動を駆動する目的を達成している。この実施例における方向転換手段４が２つの方向転換台座４２を有するのは、この実施例の方向転換手段４が搬送手段２と同じ設計を採用するのが原因であり、これにより方向転換手段４を再設計するコストが節約されている。 各方向転換台座４２はそれぞれ方向転換台座本体４２１と、方向転換台座本体４２１の両側に回転可能に設けられる２つの方向転換コンベア４２２と、を有する。 乾燥手段５は、第１の水平方向Ｄ２に沿って搬送手段２と方向転換手段４との間に配置され、且つ、第２の水平方向Ｄ３に沿って洗浄手段３に並列するように設けられており、乾燥手段５は保持トレイ９２の第１の水平方向Ｄ２に沿って搬送手段２に接近する移動を駆動すると共に保持トレイ９２を乾燥させるのに用いられる。 乾燥手段５は、第１の水平方向Ｄ２に沿って互いに離れて配置される２つの風乾モジュール５１を有し、各風乾モジュール５１は、風乾スペース５１２を画成する風乾筐体５１１と、風乾スペース５１２に位置し、且つ、保持トレイ９２の第１の水平方向Ｄ２に沿う移動を駆動するのに用いられる風乾コンベア５１３と、風乾スペース５１２に位置し、且つ、保持トレイ９２に向かって気体を吹き付けるのに用いられる風乾ノズル５１４と、各風乾コンベア５１３にそれぞれ隣接すると共に制御手段６に信号的に接続する第３のセンサ５１５と、を有する。この実施例において、第３のセンサ５１５は赤外線センサである。 この実施例において風乾ノズル５１４の数は１つであるが、この実施例の他の変化例において、風乾ノズル５１４の数は１つより多く、この実施例によって限定されない。 この実施例において、各方向転換コンベア４２２はいずれもチェーン付コンベヤベルトであるが、この実施例の他の変化例において、各方向転換コンベア４２２が１つのチェーン付コンベヤベルトによって実施され、または他のタイプのコンベアに基よって実施され、この実施例によって限定されない。 この実施例において、制御手段６はプロセッサ及び複数のプログラムコマンドが記録されると共にプロセッサに電気的に接続されるコンピュータ読み取り可能媒体によって共に実施される。一方、この実施例の他の変化例において、制御手段６はフィールドプログラマブルゲートアレイ（field-programmable gate array、略してＦＰＧＡ）、またはマイクロプロセッサ（microprocessor）、またはシステムオンチップ（system on chip）などのハードウエアまたはファームウェアに基づいて実施されることができる。 従来技術では、方向転換手段が存在しないため、洗浄装置の一端に洗浄対象を供給する手段と、他の一端に洗浄対象を排出する手段が設けられる構成となり、必然的に全体の配置が細長い形状になる。 一方、本発明はトレイ出し入れ手段１と、第１の水平方向Ｄ２に沿ってトレイ出し入れ手段１に並列するように設けられる搬送手段２と、第１の水平方向Ｄ２に沿って搬送手段２に並列するように設けられる洗浄手段３と、第１の水平方向Ｄ２に沿って洗浄手段３に並列するように設けられる方向転換手段４と、第２の水平方向Ｄ３に沿って洗浄手段３に並列するように設けられる乾燥手段５とを備えることで、全体の配置が細長い形状になる必然性がなくなる上、トレイ出し入れ手段１を用いて洗浄対象の供給及び排出が一元化されているので、占有スペースが不均一になる問題点が解決され、且つ、洗浄対象（保持トレイ９２）の管理が便利になる。 すなわち、図１と図８と図９に示されるように、各保持トレイ９２を前支持台２２と、第１の洗浄筐体３１１と、第２の洗浄筐体３２１と、１つの方向転換台座４２と、２つの風乾筐体５１１とを順番に通過させることで、各保持トレイ９２を自動的に洗浄することができる。 そして実際に稼働する際には、この実施例の第１の制御方法では以下のステップが実行される。 ステップＳ１１では、制御手段６により、トレイ出し入れ手段１の昇降台１２に収容ケース９１を垂直方向Ｄ１に沿って移動させて収容ケース９１における各保持トレイ９２における１つを駆動モジュール１３に向かい合わ