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JP-2026077179-A - 垂直共振器型発光素子及び発光装置

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Abstract

【課題】発光素子の電極間に掛かる電圧を安定させる垂直共振器型発光素子及び発光装置を提供する。 【解決手段】基板上に第１の多層膜反射鏡と、第１の導電型の第１の半導体層と、第１の半導体層上面に垂直な方向から見て上面の第１の半導体層の中心を含む中央領域よりも外側の領域に形成され、中央領域に近い側面である内側面及び中央領域から遠い側面である外側面を有する第１の電極と、第１の半導体層の中央領域に形成された発光層と、第２の導電型の第２の半導体層と、第２の電極と、第２の電極上の第２の多層膜反射鏡と、第１の電極上の第１の電極パッドと第２の電極上の第２の電極パッドと、を備え、第１の電極は、第１の金属を含み、第１の電極パッドは、第１の金属と異なる第２の金属を含み、第１の電極外側面に延在する延在部を有し、第１の電極の内部の一部の領域が、第１の電極の内部の領域の周囲の領域よりも電気抵抗が高い抵抗領域となっている。 【選択図】図３

Inventors

  • 藤原 崇子
  • 田澤 耕明

Assignees

  • スタンレー電気株式会社

Dates

Publication Date
20260513
Application Date
20241025

Claims (8)

  1. 透光性を有する基板と、 前記基板上に形成された第１の多層膜反射鏡と、 前記第１の多層膜反射鏡上に形成された第１の導電型の第１の半導体層と、 前記第１の半導体層の上面に垂直な方向から見て当該上面の前記第１の半導体層の中心を含む中央領域よりも外側の領域に形成され、前記中央領域に近い側面である内側面及び前記中央領域から遠い側面である外側面を有する第１の電極と、 前記第１の半導体層の前記中央領域に形成された発光層と、 前記発光層上に形成された第２の導電型の第２の半導体層と、 前記第２の半導体層上に形成された第２の電極と、 前記第２の電極上に形成された第２の多層膜反射鏡と、 前記第１の電極上に形成された第１の電極パッドと、 前記第２の電極上に形成された第２の電極パッドと、 を備え、 前記第１の電極は、第１の金属を含み、 前記第１の電極パッドは、前記第１の金属と異なる金属である第２の金属を含み、前記第１の電極の外側面に延在する延在部を有し、 前記第１の電極の内部の少なくとも一部の領域が、前記第１の電極の内部の当該領域の周囲の領域よりも相対的に電気抵抗が高い高抵抗領域となっていることを特徴とする、垂直共振器型発光素子。
  2. 前記高抵抗領域には、前記第１の金属と前記第２の金属とからなる金属間化合物が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の垂直共振器型発光素子。
  3. 前記高抵抗領域は、前記垂直共振器型発光素子を上から見た上面視において前記第１の電極の外縁に沿って形成されていることを特徴とする請求項１に記載の垂直共振器型発光素子。
  4. 前記第１の電極は、前記垂直共振器型発光素子を上から見た上面視において環状の上面形状を有し、 前記高抵抗領域は、前記第１の半導体層に接触しつつ前記第１の電極の上面形状に沿って連続して形成されていることを特徴とする請求項２に記載の垂直共振器型発光素子。
  5. 前記第１の金属はＡｌであり、前記第２の金属はＡｕであることを特徴とする請求項１に記載の垂直共振器型発光素子。
  6. 前記第１の電極は、前記垂直共振器型発光素子を上から見た上面視において内縁が前記第１の電極パッドの内縁よりも内側に位置していることを特徴とする請求項１に記載の垂直共振器型発光素子。
  7. 前記第２の電極はＩＴＯ又はＩＺＯであることを特徴とする請求項１に記載の垂直共振器型発光素子。
  8. 請求項１乃至７のいずれか１つに記載の垂直共振器型発光素子を備える発光装置であって、 一方の主面に金属からなる素子載置パッドを備えるサブマウント基板と、 前記第１の電極パッド及び前記第２の電極パッドの各々が前記サブマウント基板の前記素子載置パッドに接合部材により接合されていることを特徴とする発光装置。

Description

本発明は、垂直共振器型発光素子及び当該垂直共振器型発光素子を含む発光装置に関する。 半導体レーザの１つとして垂直共振器型発光素子が知られている。例えば、特許文献１には、互いに対向する２つの多層膜反射鏡とその間に配されたｎ型半導体層、発光層及びｐ型半導体層を含む半導体構造層とによって光共振器を構成する垂直共振器型面発光レーザ（Vertical Cavity Surface Emitting Laser：ＶＣＳＥＬ）が開示されている。 特開２０２０－０６４９９４ 実施例１に係る発光装置の斜視図である。実施例１に係る発光装置の上面図である。実施例１に係る発光装置の断面図である。実施例１に係る発光装置における電圧の変化率の経時変化を示すグラフである。実施例１に係る発光装置の製造工程のフローを示す図である。実施例１の変形例に係る発光装置の断面図である。 以下、本発明の実施例について図面を参照して具体的に説明する。なお、図面において同一の構成要素については同一の符号を付け、重複する構成要素の説明は省略する。