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JP-2026077291-A - 管理装置、通信システム、管理方法およびプログラム

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Abstract

【課題】近接無線通信の電波と他の無線通信の電波との干渉を抑制できる管理装置を提供する。 【解決手段】ＡＭＨＳ制御管理サーバー１０（管理装置）は、近接無線通信で使用されているチャネルにおける電波状態の監視結果に基づいて、近接無線通信とは異なる他の無線通信が、近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったか否かを判定する判定部１２と、他の無線通信が近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったと判定された場合、近接無線通信で使用されるチャネルを、近接無線通信で現在使用されているチャネルとは異なるチャネルに変更する変更部１３と、を備え、他の無線通信は、通信デバイスを備える設備の稼働にかかる管理のためのものであって、近接無線通信より電波出力値が大きい。 【選択図】図４

Inventors

  • 桑原 哲也

Assignees

  • サイレックス・テクノロジー株式会社

Dates

Publication Date
20260513
Application Date
20241025

Claims (11)

  1. 移動体および前記移動体と近接無線通信を行う通信デバイスを管理する管理装置であって、 前記近接無線通信で使用されているチャネルにおける電波状態の監視結果に基づいて、前記近接無線通信とは異なる他の無線通信が、前記近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったか否かを判定する判定部と、 前記他の無線通信が前記近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったと判定された場合、前記近接無線通信で使用されるチャネルを、前記近接無線通信で現在使用されているチャネルとは異なるチャネルに変更する変更部と、を備え、 前記他の無線通信は、前記通信デバイスを備える設備の稼働にかかる管理のためのものであって、前記近接無線通信より電波出力値が大きい、 管理装置。
  2. 前記判定部は、前記近接無線通信で使用されているチャネルにおける電波の受信強度が所定値以上であることを前記監視結果が示す場合に、前記他の無線通信が前記近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったと判定する、 請求項１に記載の管理装置。
  3. 前記変更部は、前記他の無線通信が前記近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったと判定された場合、前記近接無線通信で使用されるチャネルを、前記近接無線通信で現在使用されているチャネルとは異なるチャネル、かつ、前記設備の周辺の設備が備える通信デバイスで行われる近接無線通信のチャネルとは異なるチャネルに変更する、 請求項１または２に記載の管理装置。
  4. 前記変更部は、前記近接無線通信で使用される変更後のチャネルを、前記移動体へ通知し、前記移動体から前記通信デバイスへ通知することで、前記近接無線通信で使用されるチャネルを変更する、 請求項１または２に記載の管理装置。
  5. 移動体および前記移動体と近接無線通信を行う通信デバイスを管理する管理装置によって実行される管理方法であって、 前記近接無線通信で使用されているチャネルにおける電波状態の監視結果に基づいて、前記近接無線通信とは異なる他の無線通信が、前記近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったか否かを判定する判定ステップと、 前記他の無線通信が前記近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったと判定した場合、前記近接無線通信で使用されるチャネルを、前記近接無線通信で現在使用されているチャネルとは異なるチャネルに変更する変更ステップと、を含み、 前記他の無線通信は、前記通信デバイスを備える設備の稼働にかかる管理のためのものであって、前記近接無線通信より電波出力値が大きい、 管理方法。
  6. 請求項５に記載の管理方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
  7. 移動体と、 前記移動体と近接無線通信を行う通信デバイスを備える設備と、 前記移動体および前記通信デバイスを管理する管理装置と、を備え、 前記通信デバイスは、前記近接無線通信で使用されているチャネルにおける電波状態を監視し、 前記管理装置は、 前記監視の結果に基づいて、前記近接無線通信とは異なる他の無線通信が、前記近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったか否かを判定し、 前記他の無線通信が前記近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったと判定した場合、前記近接無線通信で使用されるチャネルを、前記近接無線通信で現在使用されているチャネルとは異なるチャネルに変更し、 前記他の無線通信は、前記通信デバイスを備える設備の稼働にかかる管理のためのものであって、前記近接無線通信より電波出力値が大きい、 通信システム。
  8. 前記通信デバイスは、前記近接無線通信で使用されているチャネルにおける電波の受信強度が所定値以上であるか否かを監視する、 請求項７に記載の通信システム。
  9. 前記通信デバイスは、前記近接無線通信が行われていないときの前記近接無線通信で使用されているチャネルにおける電波状態を監視する、 請求項７または８に記載の通信システム。
  10. 前記近接無線通信は、周波数ホッピング方式の通信であり、 前記通信デバイスは、チャネルグループに含まれる周波数ホッピングにより切り替えられる複数のチャネルのうちの１つのチャネルにおける電波状況を監視する、 請求項７または８に記載の通信システム。
  11. 移動体と、前記移動体と近接無線通信を行う通信デバイスを備える設備と、前記移動体および前記通信デバイスを管理する管理装置と、を備える通信システムによって実行される管理方法であって、 前記近接無線通信で使用されているチャネルにおける電波状態を監視する監視ステップと、 前記監視の結果に基づいて、前記近接無線通信とは異なる他の無線通信が、前記近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったか否かを判定する判定ステップと、 前記他の無線通信が前記近接無線通信に影響を及ぼす電波状態になったと判定した場合、前記近接無線通信で使用されるチャネルを、前記近接無線通信で現在使用されているチャネルとは異なるチャネルに変更する変更ステップと、を含み、 前記他の無線通信は、前記通信デバイスを備える設備の稼働にかかる管理のためのものであって、前記近接無線通信より電波出力値が大きい、 管理方法。

Description

本発明は、管理装置、通信システム、管理方法およびプログラムに関する。 特許文献１には、設置環境の無線周波数の利用状況を事前に調査して、空き周波数を通信チャネルに設定することが記載されている。 また、特許文献２には、スマートホンやタブレット等の無線子機が近づいて来たことを検知した際に、ユーザの操作を要せずして、他のいずれのアクセスポイントにも帰属していない状態に該無線子機を強制的に設定し、該無線子機を自アクセスポイントに帰属させる動作を自動的に行い、自アクセスポイントとの通信が可能な状態に該無線子機を自動的に移行させ得る自動接続機能付きのアクセスポイントが記載されている。特許文献２には、概ね無線子機がアクセスポイントとの通信を行うことが可能な状態に自動的に移行させることができる技術について記載されている。 特開２０１４－１７５７８４号公報特開２０２１－０１９２６９号公報 実施の形態に係る通信システム例の概要を示す図である。無線ＬＡＮ通信のチャネルと近接無線通信のチャネルグループとの関係を示す図である。無線ＬＡＮ通信のチャネルと近接無線通信のチャネルグループとの関係を示す図である。無線ＬＡＮ通信のチャネルと近接無線通信のチャネルグループとの関係を示す図である。事前サイトサーベイの結果を説明するための図である。実施の形態に係るＡＭＨＳ制御管理サーバーの構成の一例を示すブロック図である。無線ＬＡＮ電波状態管理ファイルの一例を示す図である。搬送台車ＭＡＰ情報の一例を示す図である。無線ＬＡＮ電波状態監視処理及び転送処理の一例を示すシーケンス図である。無線ＬＡＮ電波状態の変化を示す情報の転送処理の一例を示すシーケンス図である。搬送台車からＡＭＨＳ制御管理サーバーへ転送される無線ＬＡＮ電波状態の変化を示す情報の図である。サイトサーベイ結果が更新された無線ＬＡＮ電波状態管理ファイルの一例を示す図である。近接無線通信のチャネルグループの変更対象の管理セルおよび確認対象である周囲の管理セルの一例を示す図である。変更予定チャネルグループが更新された無線ＬＡＮ電波状態管理ファイルの一例を示す図である。搬送台車ＭＡＰ情報におけるチャネルグループの変更処理の一例を示すシーケンス図である。変更予定チャネルグループが更新された搬送台車ＭＡＰ情報の一例を示す図である。設備の通信デバイスにおけるチャネルグループの変更処理および設定処理の一例を示すシーケンス図である。搬送台車ＭＡＰ情報のチャネルグループの一部が更新される途中経過の一例を示す図である。無線ＬＡＮ電波状態管理ファイルの更新処理の一例を示すシーケンス図である。チャネルグループの一部が更新された無線ＬＡＮ電波状態管理ファイルの一例を示す図である。その他の実施の形態に係る管理装置によって実行される管理方法の一例を示すフローチャートである。その他の実施の形態に係る通信システムによって実行される管理方法の一例を示すフローチャートである。 以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。 以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、より好ましい形態を構成する任意の構成要素として説明される。なお、同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。 （実施の形態） 以下、実施の形態について図１から図１８を用いて説明する。 図１は、実施の形態に係る通信システム例の概要を示す図である。 通信システム１は、移動体と、移動体と近接無線通信を行う通信デバイスを備える設備と、移動体および通信デバイスを管理する管理装置と、を備えるシステムである。例えば、通信システム１は搬送物を移載するためのシステムであり、図１には、移動体として搬送台車２０が示され、設備として半導体製造装置３０が示され、管理装置としてＡＭＨＳ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｈａｎｄｌｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）制御管理サーバー１０が示されている。例えば、通信システム１は、複数の搬送台車２０および複数の半導体製造装置３０を備え、複数の搬送台車２０を使って搬送物の複数の半導体製造装置３０への移載を行う。 例えば、半導体製造装置３０は、半導体ウエハを加工する装置であり、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）が載置される載置ポート３２を備える。ＦＯＵＰは搬送物の一例である。 載置ポート３２は、搬送台車２０との間でＦＯＵＰを移載する。ここでは、１つの半導体製造装置３０に対して、例えば４つの載置ポート３２と４つの通信デバイス３１が設けられており、各載置ポート３２は、１つの通信デバイス３１と一対一に接続されている。 搬送台車２０は、載置ポート３２との間でＦＯＵＰを移載し、搬送台車軌道に沿って搬送する台車であり、内部にＦＯＵＰを把持する把持部（図示せず）を備える。把持部は、例えば昇降可能に設けられており、ＦＯＵＰを載置ポート３２との間で移載する際には、載置ポート３２付近まで降下される。 通信デバイス３１は、半導体製造装置３０に備えられ、載置ポート３２と搬送台車２０との間で搬送物を移載するために近接無線通信により送受信される信号、具体的には、インターロック処理に係る信号（例えばパケット）の送受信を仲介する通信装置である。近接無線通信は、例えば、ＳＥＭＩ規格Ｅ８４インターロック通信である。インターロック処理とは、特定の条件が成立しないと他の動作ができなくなるような処理である。通信システム１においてインターロック処理が行われることで、搬送台車２０よりＦＯＵＰを載置ポート３２に移載する際に、特定の条件が成立しないと次の工程には移行しないようにできる。特定の条件とは、例えば、特定の搬送台車２０が、ＦＯＵＰの移載を行いたい特定の載置ポート３２へ現在移載を行える状態にあるかを確認させる指示（インターロック処理の実行コマンド）を含む信号を送信し、特定の載置ポート３２から現在移載を行える状態にあることを示す応答（インターロック処理の実行コマンドに対するレスポンス）を含む信号を受信できたといった条件である。これにより、特定の搬送台車２０から特定の載置ポート３２へのＦＯＵＰの移載を安全かつ確実に行うことができる。 例えば通信デバイス３１は、有線ケーブルを介して、対応する載置ポート３２との間でインターロック処理に係る信号を送受信する。なお、通信デバイス３１と載置ポート３２とは、無線で当該信号の送受信をしてもよい。また、通信デバイス３１は、搬送台車２０との間でインターロック処理に係る信号を近接無線通信により送受信する。近接無線通信では、例えば、２．４ＧＨｚ帯のチャネルが使用される。また、半導体製造装置３０は、近接無線通信とは異なる他の無線通信を使用することで、例えば、半導体製造装置３０の監視、保守点検などを行う。 例えば、半導体工場などのネットワークは、半導体製造装置３０用のＨｏｓｔ ＬＡＮと搬送台車２０の制御用のＡＭＨＳ ＬＡＮの２系統となっている。Ｈｏｓｔ ＬＡＮは半導体工場現場における様々な情報管理の中心的な役割をになう統合生産情報システムＭＥＳ（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ）での通信に使用され、半導体製造装置３０に接続されている。さらに、Ｈｏｓｔ ＬＡＮには、半導体製造装置３０の監視、さらにメンテナンス用のアクセスポイント（ＡＰ）であるＨｏｓｔ無線ＬＡＮ ＡＰ５０が設置されている。Ｈｏｓｔ無線ＬＡＮ ＡＰ５０は、例えば、２．４ＧＨｚ帯の無線ＬＡＮ通信（例えばバンド幅２０ＭＨｚ）が使用される。２．４ＧＨｚ帯のＨｏｓｔ ＬＡＮ用無線ＬＡＮ通信は、本願発明において、「近接無線通信とは異なる他の無線通信」の一例である。一方、ＡＭＨＳ ＬＡＮには、搬送台車２０を制御するためのＡＭＨＳ制御管理サーバー１０と搬送台車２０との５ＧＨｚ帯の無線ＬＡＮ通信（例えばバンド幅２０ＭＨｚ）を実行するために、ＡＭＨＳ ＬＡＮ用のＡＰであるＡＭＨＳ無線ＬＡＮ ＡＰ４０が設置されている。 搬送台車２０は、ＡＭＨＳ通信部２１および近接無線通信ユニット２２を備える。 ＡＭＨＳ通信部２１は、ＡＭＨＳ無線ＬＡＮ ＡＰ４０を介してＡＭＨＳ制御管理サーバー１０と無線通信を行う通信インタフェースである。なお、ＡＭＨＳ通信部２１は、ＡＭＨＳ無線ＬＡＮ ＡＰ４０を介さずに、ＡＭＨＳ制御管理サーバー１０と直接無線通信を行ってもよい。ＡＭＨＳ通信部２１とＡＭＨＳ制御管理サーバー１０との無線通信には、Ｈｏｓｔ ＬＡＮ用の２．４ＧＨｚ帯無線ＬＡＮと無線干渉しないように、５ＧＨｚ帯の周波数帯域の無線ＬＡＮが用いられる。 近接無線通信ユニット２２は、通信デバイス３１と近接無線通信を行う通信インタフェースである。搬送台車２０は、通信デバイス３１に一対一で接続されている載置ポート３２との間で搬送物を移載するために通信されるインターロック信号を、近接無線通信ユニット２２により通信デバイス３１へ送信する。また、搬送台車２０は、通信デバイス３１からの上記信号に対する応答信号を近接無線通信ユニット２２により受信する。 上述したように、搬送台車２０と半導体製造装置３０（通信デバイス３１）との間で、ＦＯＵＰ移載時のインターロック通信用の２．４ＧＨｚ帯の近接無線通信（例えばバンド幅１ＭＨｚ）が実行される。例えば、近接無線通信は、周波数ホッピング方式の通信であり、例えば複数のチャネルからなるチャネルグループ内の複数のチャネルが切り替えられて用いられる。ここでは、例えば３つのチャネルが切り替えられるとする。以下の説明では周波数ホッピング方式を前提に説明を進めるが、近接無線通信は、周波数ホッピング方式の通信でなくてもよく、この場合には、以下記載するチャネルグループは単体のチャネルであってもよい。 搬送台車２０と半導体製造装置３０との間で行われる近接無線通信と、Ｈｏｓｔ ＬＡＮ用、つまり半導体製造装置３０のメンテナンス用の無線ＬＡＮ通信（以下、単に「無線ＬＡＮ通信」とも言う）とは、それぞれ同じ２．４ＧＨｚの周波数帯域を使用する場合は、各通信で使用されるチャネルが被らないように設定する必要がある。これについて、図２Ａから図２Ｃを用いて説明する。 図２Ａから図２Ｃは、無線ＬＡＮ通信のチャネル２．４ＧＨｚにおけると近接無線通信のチャネルグループとの関係を示す図であり、無線ＬＡＮ通信のチャネルが図２Ａはチャネル１、図２Ｂはチャネル６、図２Ｃはチャネル１１における図である。 一般に、２．４ＧＨｚ帯に用いられる無線ＬＡＮ通信では、チャネル１、チャネル６またはチャネル１１が使用される。図２Ａ～２Ｃに示すとおり、チャネル１の周波数域は２４０１～２４２３ＭＨｚであり、チャネル６の周波数域は２４２６～２４４８ＭＨｚであり、チャネル１１の周波数域は２４５１～２４７３ＭＨｚである。 一方、例えば、２．４ＧＨｚ帯の近接無線通信では、チャネルグループ１からチャネルグループ２１が使用される。上述したように、周波数ホッピング方式を採用する近接無線通信では例えば３つのチャネルが切り替えられて用いられるため、各チャネルグループには３つのチャネルが含まれる。図２Ａは無線ＬＡＮ通信においてチャネル１を使用する例を示す図であるが、この図に示されるように、チャネルグループ２には、チャネル４、チャネル１１およびチャネル１８が含まれ、これらのチャネルが切り替えられて用いられる。 なお、２．４ＧＨｚ帯の無線ＬＡＮ通信におけるチャネルの番号と、２．４ＧＨｚ帯の近接無線通信におけるチャネ