Search

JP-2026515038-A - テストリーク装置の連結装置

JP2026515038AJP 2026515038 AJP2026515038 AJP 2026515038AJP-2026515038-A

Abstract

【課題】テストリーク装置をガスリーク検知装置に連結する装置の改良及び関連方法の提供。 【解決手段】連結装置２０はガスリーク検知装置４２の動作確認や前記装置４２の機能性チェックの為にテストリーク装置１０を前記装置４２に連結する。前記リーク装置１０はテストリークハウジング１２で取り囲まれてテスト流体を保持する内部及び該内部を外部の周囲と繋げるテストリーク開口１６を有する。前記装置４２は試験下の装置からのガスを検出可能に構成される。該装置２０は、該リーク装置１０に対する第１連結箇所１８と、前記装置４２に対する第２連結箇所２８と、第１箇所１８を第２箇所２８と繋げる連結流路２６と、を備える。第１箇所１８にはキャリアガス供給ライン３２が設置され、該ライン３２で供給されたキャリアガスにより、前記開口１６から出たテスト流体が、該流路２６を通って第２箇所２８に運ばれる。 【選択図】図１

Inventors

  • ブラクトホイザー・イェシカ
  • ライスマン・マクシミリアン
  • ヴェツィヒ・ダニエル

Assignees

  • インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

Dates

Publication Date
20260513
Application Date
20240422
Priority Date
20230509

Claims (9)

  1. ガスリーク検知装置（４２）の機能性の確認や該ガスリーク検知装置の機能性のチェックを行うためにテストリーク装置（１０）を該ガスリーク検知装置に連結する連結装置（２０）であって、前記テストリーク装置（１０）は、テストリークハウジング（１２）で取り囲まれてテスト流体を保持する内部、および該内部を外部の周囲と繋げるテストリーク開口（１６）を有し、前記ガスリーク検知装置は、試験体から漏出したガスを検出するように構成されており、当該連結装置（２０）が、 前記テストリーク装置（１０）に対する第１の連結箇所（１８）と、 前記ガスリーク検知装置（４２）に対する第２の連結箇所（２８）と、 前記第１の連結箇所（１８）を前記第２の連結箇所（２８）と繋げる連結流路（２６）と、 を備える、連結装置（２０）において、 前記第１の連結箇所（１８）に、キャリアガス供給ライン（３２）が設けられており、該キャリアガス供給ライン（３２）で供給されたキャリアガスにより、前記テストリーク開口（１６）から漏出したテスト流体が、前記連結流路（２６）を通って前記第２の連結箇所（２８）に運ばれることを特徴とする、連結装置（２０）。
  2. 請求項１に記載の連結装置（２０）において、前記ガスリーク検知装置（４２）への装着済みの状態で、前記第１の連結箇所（１８）は、前記テストリーク装置（１０）を該第１の連結箇所（１８）に重ねることで前記テストリーク装置（１０）と前記連結流路（２６）との間に流体密な連結が形成されるよう、上方に突出するように構成されていることを特徴とする、連結装置（２０）。
  3. 請求項１または２に記載の連結装置（２０）において、前記キャリアガス供給ライン（３２）が、前記連結流路（２６）の流路壁を通って該連結流路（２６）の内部に案内されて前記第１の連結部（１８）の領域にキャリアガス出口（３４）を形成していることを特徴とする、連結装置（２０）。
  4. 請求項１から３のいずれか一項に記載の連結装置（２０）において、前記キャリアガス供給ライン（３２）のうち、前記キャリアガス出口（３４）の反対側であるキャリアガス用接続端（３８）が、キャリアガス源と接続されるように構成されていることを特徴とする、連結装置（２０）。
  5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の連結装置（２０）において、前記キャリアガス供給ライン（３２）が、該キャリアガス供給ライン（３２）を選択的に閉成するキャリアガス遮断弁（４０）または前記キャリアガス供給ライン（３２）のキャリアガス流量を選択的に調節する調節可能な流量絞り（４０）を具備していることを特徴とする、連結装置（２０）。
  6. 請求項１から５のいずれか一項に記載の連結装置（２０）において、前記第２の連結箇所（２８）に、前記ガスリーク検知装置（４２）に対する連結弁（３０）が設けられていることを特徴とする、連結装置（２０）。
  7. 請求項１から６のいずれか一項に記載の連結装置（２０）と、 テストリークハウジング（１２）で囲い込まれてテスト流体を収める内部、および該内部を外部の環境と繋げるテストリーク開口（１６）を有するテストリーク装置（１０）と、 の組合せにおいて、 前記テストリーク装置（１０）および前記第１の連結箇所（１８）は、該テストリーク装置（１０）を該第１の連結箇所（１８）に重ねることで該テストリーク装置（１０）と前記連結装置（２０）との間に流体密な連結が形成されるよう互いに相補的であるように構成されていることを特徴とする、組合せ。
  8. 請求項１から６のいずれか一項に記載の連結装置（２０）を用いて、テストリークハウジング（１２）で囲い込まれてテスト流体を収める内部空間、および該内部空間を外部の環境と繋げるテストリーク開口（１６）を有するテストリーク装置（１０）を、ガスリーク検知装置に連結する方法において、 前記テストリーク装置（１０）を前記第１の連結箇所（１８）に連結する過程と、 前記第２の連結ポート（２８）を前記ガスリーク検知器（４２）に連結する過程と、 前記リーク検知器により前記第２の連結箇所（２８）を真空排気する過程と、 前記キャリアガス供給ライン（３２）から前記第１の連結箇所（１８）にキャリアガスを供給する過程と、 前記テストリーク開口（１６）から漏出したテスト流体を、前記キャリアガスにより、前記連結流路（２６）を通って前記ガスリーク検知器（４２）に運ぶ過程と、 前記ガス検出器（５０）により、運ばれた前記テスト流体を検出する過程と、 を備えることを特徴とする、方法。
  9. 請求項８に記載の方法において、前記テストリーク装置（１０）を前記第１の連結箇所（１８）に重ねることで該テストリーク装置（１０）が前記連結流路（２６）に連結されて、前記第２の連結箇所（２８）を真空排気することで流体密な連結が形成されることを特徴とする、方法。

Description

本発明は、テストリーク装置をガスリーク検知装置に連結する連結装置に関する。 ガスリーク検知装置は、典型的に、ガスまたは液体で満たされた試験体が内部に配置される真空排気可能な試験用チャンバを有する。試験用チャンバには、以降ガス検出器とも称するガス分析装置が接続されており、該ガス分析装置が、試験用チャンバから吸い込まれたガスを分析して試験体のリークから該試験用チャンバに漏出した漏洩ガスを検出したり、同リークから漏出して気化した液体を検出したりする。このとき、漏洩ガスの検出量からリークの大きさを推測できるようにすることが極めて重要である。この目的のために、テストリーク装置が使用される。テストリーク装置は、所定量の既知のテストガスまたはテスト流体を収めているとともに、既知の寸法および／または収められた流体に対して既知の透過率を有するリークが設けられている。テストリーク装置は、典型的に、ガスリーク検知装置の機能性の検査やガスリーク検知装置の調整を行うのに使用される。 このようなテストリーク装置は、例えばWO 2021/259579 A1（特許文献１）に記載されている。同テストリーク装置は、内部空間を囲い込んでなるテストリークハウジングを有しており、該内部空間は、テスト流体を収容してテストリークハウジングのテストリーク開口を介して該テストリークハウジングの外部と繋がっている。同テストリーク開口は、例えば、テスト流体を透過可能なメンブレンにより閉じられたものとされ得る。同テスト流体は、ガスまたは液体であり得る。具体的に述べると、同テストリーク装置の下部にテストリーク開口が形成されて、テスト流体が重力の影響で該テストリーク開口から下方に漏出することができるようになっている。 従来、上記の種類のこのようなテストリーク装置は、典型的に、ガスリーク検知装置の試験用チャンバに差し込まれる。テストリークから漏出したテスト流体は、試験用チャンバに直に送り込まれて、そこからガス検出器に送られる。しかしながら、連結装置でテストリーク装置をガスリーク検知装置に連結し、テストリーク装置から漏出したテスト流体を、該連結装置を通して試験用チャンバに進入させるようにすることも原則的に知られている。 国際公開第２０２１／２５９５７９号 テストリーク装置と連結装置との組合せを、破線で描かれたリーク検知装置とともに示す模式図である。 テストリーク装置１０は、扁平なテストリークハウジング１２を含む。テストリークハウジング１２は、ジメチルカーボネートの形態のテスト流体を有する内部を囲い込んだものである。テストリークハウジング１２の下面１４には、該内部をその外部の環境と繋げるテストリーク開口１６が設けられている。テストリーク開口１６には、テスト流体を選択的に透過可能なメンブレンが形成されている。テストリーク装置１０は、連結装置２０の第１の連結箇所１８と真空気密に且つ流体密に連結される。この目的のために、テストリーク装置１０は、上方に突出した連結用フランジ２２に重ねられる。連結用フランジ２２は、第１の連結箇所１８を外側で取り囲んで下部１４と気密に接触する扁平な支持面２４を有している。この目的のために、連結用フランジ２２は、第１の連結箇所１８を外側で取り囲む図示しない密封リングを具備したものとされ得る。 連結装置２０は、管状の連結流路２６を有する。連結流路２６の一端には第１の連結箇所１８が形成されており、他端は図示しないガスリーク検知装置に対する第２の連結箇所２８を有している。第２の連結箇所２８は、３－２ウェイバルブの形態の連結弁３０を具備する。連結弁３０の第１の連結箇所は、連結装置２０の第２の連結箇所２８と連結される。連結弁３０の第２の連結箇所は、前記ガスリーク検知装置、例えば、前記ガスリーク検知装置の試験用チャンバのうちの相補的な連結箇所と連結される。連結弁３０の第３の連結箇所は大気に開放され、連結弁３０の第２の連結箇所からキャリアガスを前記ガスリーク検知装置に送り込まない場合には、該第３の連結箇所を利用して、キャリアガスによる第１の連結箇所１８の連結部分のパージを行う。 キャリアガス供給ライン３２は、外部から連結流路２６の内部に導かれて、該連結流路２６内に対して且つ第１の連結箇所１８の領域の連結用フランジ２２内にてキャリアガス出口３４で開口している。キャリアガス出口３４は、連結流路２６内の且つ第１の連結箇所１８内の同軸に位置してテストガス開口１６に直に向いている。キャリアガス供給ライン３２のうち、キャリアガス出口３４の反対側である端部は、連結流路２６外部の、キャリアガス源と接続されるキャリアガス用接続端３８を構成している。 キャリアガス供給ライン３２は、該キャリアガス供給ライン３２を選択的に開放／遮断する図示しないキャリアガス遮断弁を具備している。キャリアガス供給ライン３２には、さらに、適切なキャリアガス流量を設定するための調節可能な流量絞り４０が設けられている。 図面では、ガスリーク検知装置４２は、本発明の一部でないことを明確にするために破線で描かれている。つまり、連結弁３０は、試験体を保持する試験用チャンバ４４と直接連結される。試験用チャンバ４４は、該試験用チャンバ４４を真空排気する真空ポンプ４６と真空接続される。試験用チャンバ４４および真空ポンプ４６は、真空ライン４８で互いに接続される。真空ライン４８は、試験用チャンバ４４から引き抜かれたガスを分析するガス検出器５０を含んでいる。連結弁３０が開放されると、真空ポンプ４６が連結装置２０を真空排気する。連結流路２６内に生じた真空により、テストリーク装置１０が第１の連結箇所１８に吸引されて、テストリークハウジング１２と連結用フランジ２２との間に安定した真空気密な連結が形成される。 図示しないキャリアガス源が、キャリアガス用接続端３８に接続され得るが、該キャリアガス源は、試験用チャンバ４４のキャリアガス源としても機能してよい。この目的のために、該キャリアガス源と試験用チャンバ４４との間に、キャリアガス供給ライン３２とは別の独立した直接の接続が存在していてもよい。