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JP-2026515070-A - エピタキシャル用動的シール堆積装置

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Abstract

本開示は、エピタキシャル用動的シール堆積装置を提供し、半導体機器の技術分野に属する。前記エピタキシャル用動的シール装置は、底板を含み、前記底板の上方には位置決め調節手段が設けられ、前記位置決め調節手段は、水平方向における位置決め調節のために用いられ、前記位置決め調節手段の上方には昇降回転手段が設けられ、前記昇降回転手段の上方にはプロセスチャンバが設けられ、前記プロセスチャンバ内には収容突き出し手段が設けられ、前記昇降回転手段は、前記収容突き出し手段を昇降回転させるために用いられる。本発明は、エピタキシャル用動的シール堆積装置を提供し、堆積均一性が悪く、堆積品質が悪いという従来技術における堆積機器の技術課題を解決する。 【選択図】図１

Inventors

  • 鄭 錦
  • 姚 ▲チョン▼
  • 陶 佳月

Assignees

  • 南京原▲レイ▼納米材料有限公司

Dates

Publication Date
20260513
Application Date
20231027
Priority Date
20230516

Claims (14)

  1. エピタキシャル用動的シール堆積装置であって、 底板を含み、前記底板の上方には位置決め調節手段が設けられ、前記位置決め調節手段の上方には昇降回転手段が設けられ、前記昇降回転手段の上方には磁性流体動的シール部材が設けられ、前記磁性流体動的シール部材の上方にはプロセスチャンバが設けられ、前記プロセスチャンバ内には収容突き出し手段が設けられ、 前記位置決め調節手段は、Ｘ軸調節板、Ｙ軸調節板及びＸ軸調節板及びＹ軸調節板の一端に設けられる調節アセンブリを含み、前記Ｘ軸調節板の底部は、横方向に設けられる第１リニアガイドレールを介して前記底板に接続され、前記Ｙ軸調節板の底部は、縦方向に設けられる第２リニアガイドレールを介して前記Ｘ軸調節板に接続され、 前記調節アセンブリは、前記底板に設けられる第１調節ブロック及び前記Ｘ軸調節板に設けられる第２調節ブロックを含み、前記第１調節ブロックには第１回転つまみが設けられ、前記第１回転つまみは、前記第２調節ブロックに接続され、前記第２調節ブロックには第２回転つまみが設けられ、前記第２回転つまみは、前記Ｙ軸調節板に接続され、前記第１回転つまみ及び前記第２回転つまみを順に回転させることで前記昇降回転手段の水平調節を実現し、 前記収容突き出し手段は、支持アームを含み、前記支持アームの頂部には予熱リングが設けられ、前記支持アームの底部は、前記磁性流体動的シール部材に接続され、前記予熱リングの内側頂部にはウェハを収容するための突き合わせ溝が開けられ、前記支持アームには突き上げピンが摺動して設けられ、前記プロセスチャンバには、前記突き上げピンの底部に対向してストッパ支持部が設けられ、前記昇降回転手段は、前記支持アームを昇降回転させるために用いられる、エピタキシャル用動的シール堆積装置。
  2. 前記第１調節ブロックの頂部には第１Ｕ字状溝が開けられ、前記第１回転つまみは、前記第１Ｕ字状溝内に係止して設けられ、前記第２調節ブロックには、延在板が外向きに設けられ、前記第１回転つまみは、前記延在板に接続され、前記第１調節ブロックの一端には第１止めねじが設けられ、前記第１止めねじは、前記第１回転つまみに対向して設けられ、前記第２調節ブロックの一側には第２Ｕ字状溝が開けられ、前記第２回転つまみは、前記第２Ｕ字状溝内に係止して設けられ、前記第２調節ブロックの頂部には第２止めねじが設けられ、前記第２止めねじは、前記第２回転つまみに対向して設けられる、請求項１に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  3. 前記第１回転つまみ及び第２回転つまみは、いずれもローラー、つまみヘッド及び雄ネジ柱を含み、前記ローラーの両端にはストッパ柱が接続され、前記つまみヘッドは、一端の前記ストッパ柱に接続され、前記雄ネジ柱は、他端の前記ストッパ柱に接続され、前記第１回転つまみにおけるローラーは、前記第１Ｕ字状溝内に設けられ、前記第１回転つまみにおけるストッパ柱は、第１Ｕ字状溝の外側に密着し、前記第１回転つまみにおける雄ネジ柱は、前記延在板に接続され、前記第１止めねじは、前記第１回転つまみにおけるローラーに対向して設けられ、前記第２回転つまみにおけるローラーは、前記第２Ｕ字状溝内に設けられ、前記第２回転つまみにおけるストッパ柱は、第２Ｕ字状溝の外側に密着し、前記第２回転つまみにおける雄ネジ柱は、前記Ｙ軸調節板に接続され、前記第２止めねじは、前記第２回転つまみにおけるローラーに対向して設けられる、請求項２に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  4. 前記位置決め調節手段は、位置決めアセンブリをさらに含み、前記位置決めアセンブリは、第１固定ブロック及び第２固定ブロックを含み、前記第１固定ブロックは、前記底板に取り付けられ且つＸ軸調節板の一側に位置し、前記第１固定ブロックには第１チーズヘッドねじが設けられ、前記第１チーズヘッドねじは、前記Ｘ軸調節板に対向して設けられ、前記第１チーズヘッドねじには前記第１チーズヘッドねじをストッパするための第１ロックナットが接続され、前記第２固定ブロックは、底板に取り付けられ且つ前記Ｘ軸調節板の他側に位置し、前記第２固定ブロックには第２チーズヘッドねじが設けられ、前記第２チーズヘッドねじは、前記Ｘ軸調節板に対向して設けられ、前記第２チーズヘッドねじには前記第２チーズヘッドねじをストッパするための第２ロックナットが接続され、前記第２調節ブロックには第３チーズヘッドねじが設けられ、前記第３チーズヘッドねじは、前記Ｙ軸調節板に対向して設けられ、前記第３チーズヘッドねじには前記第３チーズヘッドねじをストッパするための第３ロックナットが接続され、前記Ｘ軸調節板の、第２調節ブロックから離れた端には第３固定ブロックが取り付けられ、前記第３固定ブロックには第４チーズヘッドねじが設けられ、前記第４チーズヘッドねじは、前記Ｙ軸調節板に対向して設けられ、前記第４チーズヘッドねじには前記第４チーズヘッドねじをストッパするための第４ロックナットが接続される、請求項２に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  5. 前記底板の第２固定ブロックに近い側には第４固定ブロックが取り付けられ、前記第４固定ブロックには第１挟持孔が開けられ、前記第１挟持孔内には第１ダイヤルゲージが挟持され、前記第１ダイヤルゲージのゲージヘッドは、前記Ｘ軸調節板に当接され、前記第４固定ブロックの頂部には第１ロック隙間が開けられ、前記第１ロック隙間は、前記第１挟持孔に連通し、前記第４固定ブロックの一端には第１貫通孔が開けられ、他端には第１ネジ孔が開けられ、前記第１ネジ孔は、前記第１貫通孔に対向して設けられ且つ前記第１ネジ孔及び第１貫通孔は、それぞれ前記第１ロック隙間に連通し、前記第１貫通孔内には第１ロックボルトが設けられ、前記第１ロックボルトは、前記第１ネジ孔に接続され、前記Ｘ軸調節板の第１調節ブロックに近い端には第５固定ブロックが取り付けられ、前記第５固定ブロックには第２挟持孔が開けられ、前記第２挟持孔内には第２ダイヤルゲージが挟持され、前記第２ダイヤルゲージのゲージヘッドは、前記Ｙ軸調節板に当接され、前記第５固定ブロックの頂部には第２ロック隙間が開けられ、前記第２ロック隙間は、前記第２挟持孔に連通し、前記第５固定ブロックの一側には第２貫通孔が開けられ、他側には第２ネジ孔が開けられ、前記第２ネジ孔は、前記第２貫通孔に対向して設けられ且つ前記第２ネジ孔及び第２貫通孔は、それぞれ前記第２ロック隙間に連通し、前記第２貫通孔内には第２ロックボルトが設けられ、前記第２ロックボルトは、前記第２ネジ孔に接続される、請求項４に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  6. 前記昇降回転手段は、ダイレクト駆動回転モーターを含み、前記Ｙ軸調節板の一側には取り付け座が設けられ、前記取り付け座の頂部にはリニアシリンダが設けられ、前記リニアシリンダの出力端には昇降板が接続され、前記昇降板の底部には磁性流体動的シール部材が接続され、前記磁性流体動的シール部材は、プラムブロッサムカップリングを介して前記ダイレクト駆動回転モーターの出力端に接続され、前記磁性流体動的シール部材とダイレクト駆動回転モーターとの間にはモーター座が接続され、前記Ｙ軸調節板の、リニアシリンダから離れた側にはガイド軸が接続され、前記モーター座のガイド軸に近い側には前記ガイド軸に摺動可能に接続されるリニア軸受が接続され、前記リニアシリンダにはブラケットが接続され、前記ブラケットには高さ方向に沿って第１光電センサ、第２光電センサ及び第３光電センサが順に取り付けられ、前記昇降板のブラケットに近い側には検出シートが接続され、突き出し状態で、前記検出シートは、前記第１光電センサにより検出され、初期状態で、前記検出シートは、前記第２光電センサにより検出され、プロセス状態で、前記検出シートは、前記第３光電センサにより検出される、請求項２に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  7. 前記プロセスチャンバは、下ガラスカバー、上ガラスカバー及びガスキャビティを含み、前記昇降板の頂部にはベローズが接続され、前記ベローズは、前記磁性流体動的シール部材に対向して設けられ、前記ベローズの頂部には水冷シールブロックが接続され、前記水冷シールブロックの頂部には押さえブロックが接続され、前記下ガラスカバーの底部には、突起部が外向きに設けられ、前記突起部は、前記水冷シールブロックと押さえブロックとの間に係止して設けられ、前記ガスキャビティの底部には下クランプリングが接続され、前記ガスキャビティの頂部外側にはクランプ板が接続され、前記クランプ板の頂部には上クランプリングが接続され、前記下ガラスカバーの頂部には、第１環状係止辺が外向きに設けられ、前記第１環状係止辺は、前記ガスキャビティと前記下クランプリングとの間に係止して設けられ、前記上ガラスカバーには、第２環状係止辺が外向きに設けられ、前記第２環状係止辺は、前記ガスキャビティと前記上クランプリングとの間に係止して設けられる、請求項６に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  8. 前記下クランプリングの底部両端には支持アーム板が接続され、前記支持アーム板の間にはビームが接続され、前記ビームにはベローズが貫通可能な開孔が開けられ、前記ビームは、前記水冷シールブロックの底部に接続され、前記ビームの底部には第１支持柱が接続され、前記第１支持柱は、前記底板に接続される、請求項７に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  9. 前記収容突き出し手段は、多角形内部ブッシュをさらに含み、前記支持アームは、第２支持柱を含み、前記第２支持柱の底部には多角形係止柱が設けられ、前記多角形係止柱は、前記多角形内部ブッシュ内に係止して設けられ、前記多角形内部ブッシュは、アダプタブロックを介して前記磁性流体動的シール部材に接続され、前記第２支持柱の頂部には複数の支持爪が等しい角度をおいて外向きに設けられ、前記支持爪は、傾斜部及び水平部を含み、前記傾斜部は、一端が前記支持アームに接続され、他端が前記水平部に接続され、前記水平部の頂部は、支持ピンを介して前記予熱リングに接続され、前記傾斜部の頂部には摺動柱が設けられ、前記摺動柱には、前記傾斜部に対応して摺動孔が開けられ、前記突き上げピンは、前記摺動孔内に設けられ、前記ストッパ支持部は、下ガラスカバーの内壁上に設けられ、前記摺動柱の頂部が前記突き合わせ溝の底部よりも高くない、請求項７に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  10. 前記突起部と前記水冷シールブロックとの間にはシールリングが設けられ、前記水冷シールブロックの外側には給水口及び出水口が設けられ、前記給水口と前記出水口との間に環状水路が連通し、前記水冷シールブロックの外側には吸気管路及び検出管路がさらに設けられ、前記吸気管路は、前記プロセスチャンバに連通し、前記検出管路は、前記突起部と前記水冷シールブロックとの間の接続箇所に連通し、前記検出管路の外部には、圧力センサが接続され、前記圧力センサの、検出管路から離れた端には真空ポンプが取り付けられる、請求項７に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  11. エピタキシャル用動的シール堆積装置であって、 底板と、 前記底板の上方に設けられ、Ｘ軸調節板、Ｙ軸調節板及び調節アセンブリを含む位置決め調節手段と、 前記位置決め調節手段の上方に設けられ、上方に磁性流体動的シール部材が設けられる昇降回転手段であって、前記磁性流体動的シール部材の上方にはプロセスチャンバが設けられる昇降回転手段と、 前記プロセスチャンバの内部に設けられ、支持アームを含む収容突き出し手段であって、前記支持アームの底部が前記磁性流体動的シール部材に接続され、前記支持アームの頂部がウェハを収容するために用いられ、前記昇降回転手段が前記支持アームを昇降回転させるように構成される収容突き出し手段とを含み、 前記調節アセンブリは、前記Ｘ軸調節板及び前記Ｙ軸調節板の一端に設けられ、前記調節アセンブリは、前記昇降回転手段の水平方向における調節を実現するように構成される、エピタキシャル用動的シール堆積装置。
  12. 前記Ｘ軸調節板の底部は、横方向に設けられる第１リニアガイドレールを介して前記底板に接続され、前記Ｙ軸調節板の底部は、縦方向に設けられる第２リニアガイドレールを介して前記Ｘ軸調節板に接続される、請求項１１に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  13. 前記調節アセンブリは、 前記底板及び前記Ｘ軸調節板に設けられ、第１回転つまみが設けられる第１調節ブロックと、 前記第１回転つまみに接続され、第２回転つまみが設けられる第２調節ブロックであって、前記第２回転つまみが前記Ｙ軸調節板に接続され、前記第１回転つまみ及び前記第２回転つまみを順に回転させることで前記昇降回転手段の水平調節を実現する第２調節ブロックとを含む、請求項１１に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。
  14. 前記支持アームの頂部には予熱リングが設けられ、前記予熱リングの内側頂部には前記ウェハを収容するための突き合わせ溝が開けられ、前記支持アームには突き上げピンが摺動して設けられ、 前記プロセスチャンバには、前記突き上げピンの底部に対向してストッパ支持部が設けられる、請求項１１に記載のエピタキシャル用動的シール堆積装置。

Description

本開示は、２０２３年０５月１６日に出願され、出願番号が２０２３１０５５００７３．７の中国特許出願の優先権を主張し、その内容の全ては、参照により本開示に組み込まれる。 本開示は、半導体機器技術分野に関し、特にエピタキシャル用動的シール堆積装置に関する。 エピタキシャル機器は、半導体処理機器に広く用いられる堆積機器として、そのめっきプロセスが真空環境で行う必要がある。従来のエピタキシャル機器は、取り付け調節過程でプロセスチャンバの中心でウェハを堆積処理することを保証することが難しく、堆積均一性が悪く、且つウェハの堆積位置にオフセットが発生した場合、ウェハの堆積位置を調整することができず、最適な堆積効果を達成することができない。 本開示のいくつかの実施例によるエピタキシャル用動的シール堆積装置の構造概略図である。本開示のいくつかの実施例によるエピタキシャル用動的シール堆積装置の断面図である。図１における位置決め調節手段の第１斜視図である。図１における位置決め調節手段の第２斜視図である。図１における第１回転つまみ及び第２回転つまみの構造概略図である。図１における水冷シールブロックの構造概略図である。図１における水冷シールブロックの断面図である。 以下、図面を用いて本開示についてさらに説明する。以下の実施例は、本開示の技術案をより明確に説明するためにのみ使用され、それによって本開示の保護範囲を制限することはできない。 図１～図７に示すように、本開示によるエピタキシャル用動的シール堆積装置は、底板４０を含み、底板４０の上方には水平方向における位置決め調節のための位置決め調節手段が設けられる。具体的には、位置決め調節手段は、調節アセンブリを含み、調節アセンブリは、第１調節ブロック５２及び第２調節ブロック６０を含み、底板４０の頂部には横方向取り付け溝が開けられ、横方向取り付け溝内には第１リニアガイドレール７５がボルトを介して固定に取り付けられ、第１リニアガイドレール７５の頂部にはＸ軸調節板５９がボルトを介して固定に取り付けられ、Ｘ軸調節板５９の頂部両側には縦方向取り付け溝が開けられ、縦方向取り付け溝内には第２リニアガイドレール７９がボルトを介して固定に取り付けられ、２つの第２リニアガイドレール７９の頂部には１つのＹ軸調節板６６がボルトを介して固定に取り付けられる。つまり、第１リニアガイドレール７５及び２つの第２リニアガイドレール７９の主な機能は、ガイドと支持の役割であり、リニアガイドレールは、摺動レールスライダとも呼ばれ、即ち、リニアガイドレールは、摺動レール及びスライダで構成されるとして理解されてもよい。摺動レールは、相対的に固定されているが、スライダは、レールに沿って往復移動できる。第１リニアガイドレール７５における摺動レールは、底板４０の横方向取り付け溝内にボルトを介して固定されてもよく、第１リニアガイドレール７５におけるスライダの頂部にはＸ軸調節板５９がボルトを介して固定接続されてもよい。第２リニアガイドレール７９における摺動レールは、Ｘ軸調節板５９の縦方向取り付け溝内にボルトを介して固定されてもよく、第２リニアガイドレール７９におけるスライダの頂部にはＹ軸調節板６６がボルトを介して固定接続されてもよい。Ｘ軸調節板５９の一端には第１位置決め溝口が開けられ、第２調節ブロック６０は、第１位置決め溝口にボルトを介して固定して取り付けられ、底板４０の第２調節ブロック６０に近い端の頂部には第１取り付け溝が開けられ、第１調節ブロック５２は、第１取り付け溝内にボルトを介して固定して取り付けられ、第１調節ブロック５２の頂部には第１Ｕ字状溝６２が開けられ、第１Ｕ字状溝６２内には第１回転つまみ６１が係止して設けられ、第２調節ブロック６０には延在板５４が一体で外向きに設けられ、第１回転つまみ６１は、延在板５４にネジ接続され、第１調節ブロック５２の、Ｘ軸調節板５９から離れた端には第１止めねじ５３がネジ接続され、第１止めねじ５３は、第１回転つまみ６１に対向して設けられ、第２調節ブロック６０の、第１調節ブロック５２から離れた側には第２Ｕ字状溝が開けられ、第２Ｕ字状溝内には第２回転つまみ５７が係止して設けられ、第２回転つまみ５７は、Ｙ軸調節板６６にネジ接続され、第２調節ブロック６０の頂部には第２止めねじ５８がネジ接続され、第２止めねじ５８は、第２回転つまみ５７に対向して設けられる。 図３及び図５に示すように、本開示の実施例では、第１回転つまみ６１及び第２回転つまみ５７は、いずれもローラー８１、つまみヘッド８２及び雄ネジ柱８０を含み、ローラー８１の両端にはストッパ柱８３が一体に設けられ、つまみヘッド８２は、一側のストッパ柱８３に一体に設けられ、雄ネジ柱８０は、他側のストッパ柱８３に一体に設けられ、つまり、第１回転つまみ６１及び第２回転つまみ５７は、いずれも順に接続されるつまみヘッド８２、ローラー８１及び雄ネジ柱８０を含み、つまみヘッド８２とローラー８１との間、及びローラー８１と雄ネジ柱８０との間にはいずれもストッパ柱８３が接続される。第１回転つまみ６１におけるローラー８１は、第１Ｕ字状溝６２内に位置し、第１回転つまみ６１におけるストッパ柱８３は、第１Ｕ字状溝６２の外側に密着し、第１回転つまみ６１におけるローラー８１をストッパしやすい。第１回転つまみ６１における雄ネジ柱８０は、延在板５４にネジ接続され、第１止めねじ５３は、第１回転つまみ６１におけるローラー８１に対向して設けられ、第２回転つまみ５７におけるローラー８１は、第２Ｕ字状溝内に位置し、第２回転つまみ５７におけるストッパ柱８３は、第２Ｕ字状溝の外側に密着し、第２回転つまみ５７におけるローラー８１をストッパしやすい。第２回転つまみ５７における雄ネジ柱８０は、Ｙ軸調節板６６にネジ接続され、第２止めねじ５８は、第２回転つまみ５７におけるローラー８１に対向して設けられる。 調節過程では、第１回転つまみ６１におけるつまみヘッド８２を回転させ、Ｘ軸調節板５９のＸ軸方向における位置を調節する。調節完了後、第１止めねじ５３を回転させ、第１止めねじ５３を第１回転つまみ６１におけるローラー８１に当接させ、第２回転つまみ５７におけるつまみヘッド８２を回転させ、Ｙ軸調節板６６のＹ軸方向における位置を調節する。調節完了後、第２止めねじ５８を回転させ、第２止めねじ５８を第２回転つまみ５７におけるローラー８１に当接させる。水平Ｘ方向及びＹ方向の調節によって、ウェハ３６が取り付け調節中にプロセスチャンバの中心になり、堆積均一性を大幅に向上させることができるだけでなく、ウェハ３６の堆積位置にオフセットが発生した場合、ウェハ３６の堆積位置を再調整することができ、最適な堆積効果を達成することができる。また、図３に示すように、第１調節ブロック５２及び第２調節ブロック６０は、同一の端に位置し、即ち、調節アセンブリは、Ｘ軸調節板５９及びＹ軸調節板６６の同一側に設けられる。この設置は、操作の利便性を効果的に向上させ、人件費を低減させる。 図４に示すように、位置決め調節手段は、位置決めアセンブリをさらに含み、位置決めアセンブリは、第１固定ブロック７１及び第２固定ブロック７６を含み、底板４０は、Ｘ軸調節板５９の一側に位置する頂部に第２取り付け溝が開けられ、第１固定ブロック７１は、第２取り付け溝内にボルトに固定して取り付けられ、第１固定ブロック７１には第１チーズヘッドねじ７０がネジ接続され、第１チーズヘッドねじ７０は、Ｘ軸調節板５９に対向して設けられ、第１チーズヘッドねじ７０には第１ロックナット６９がネジ接続され、本実施例では、第１ロックナット６９は、第１チーズヘッドねじ７０のねじ部の、第１チーズヘッドねじ７０のねじヘッド部に近い側に位置するが、これに限定されず、第１ロックナット６９は、第１チーズヘッドねじ７０のねじ部の、第１チーズヘッドねじ７０のねじヘッド部から離れた側に位置してもよい。 底板４０は、Ｘ軸調節板５９の他側に位置する頂部に第３取り付け溝が開けられ、第２固定ブロック７６は、第３取り付け溝内にボルトを介して固定して取り付けられ、第２固定ブロック７６には第２チーズヘッドねじ７８がネジ接続され、第２チーズヘッドねじ７８は、Ｘ軸調節板５９に対向して設けられ、第２チーズヘッドねじ７８には第２ロックナット７７がネジ接続され、本実施例では、第２ロックナット７７は、第２チーズヘッドねじ７８のねじ部の、第２チーズヘッドねじ７８のねじヘッド部に近い側に位置するが、これに限定されず、第２ロックナット７７は、第２チーズヘッドねじ７８のねじ部の、第２チーズヘッドねじ７８のねじヘッド部から離れた側に位置してもよい。第２調節ブロック６０には第３チーズヘッドねじ５５がネジ接続され、第３チーズヘッドねじ５５は、Ｙ軸調節板６６に対向して設けられ、第３チーズヘッドねじ５５には第３ロックナット５６がネジ接続され、本実施例では、第３ロックナット５６は、第３チーズヘッドねじ５５のねじ部の、第３チーズヘッドねじ５５のねじヘッド部に近い端に位置するが、これに限定されず、第３ロックナット５６は、第３チーズヘッドねじ５５のねじ部の、第３チーズヘッドねじ５５のねじヘッド部から離れた端に位置してもよい。 Ｘ軸調節板５９の、第２調節ブロック６０から離れた端には第２位置決め溝口が開けられ、第２位置決め溝口には第３固定ブロック７２がボルトを介して固定に取り付けられ、第３固定ブロック７２には第４チーズヘッドねじ７３がネジ接続され、第４チーズヘッドねじ７３は、Ｙ軸調節板６６に対向して設けられ、第４チーズヘッドねじ７３には第４ロックナット７４がネジ接続され、本実施例では、第４ロックナット７４は、第４チーズヘッドねじ７３のねじ部の、第４チーズヘッドねじ７３のねじヘッド部に近い端に位置するが、これに限定されず、第４ロックナット７４は、第４チーズヘッドねじ７３のねじ部の、第４チーズヘッドねじ７３のねじヘッド部から離れた端に位置してもよい。 応用では、Ｘ軸調節板５９の調節が完了した後、第１チーズヘッドねじ７０を回転させ、第１チーズヘッドねじ７０をＸ軸調節板５９に当接させ、第１ロックナット６９を回転させ、第１ロックナット６９と第１固定ブロック７１を締結させ、そして第２チーズヘッドねじ７８を回転させ、第２チーズヘッドねじ７８をＸ軸調節板５９に当接させ、最後に第２ロックナット７７を回転させ、第２ロックナット７７と第２固定ブロック７６を締結させ、Ｘ軸調節板５９の位置決めを完了させる。Ｙ軸調節板６６の調節が完了した後、第３チーズヘッドねじ５５を回転させ、第３チーズヘッドねじ５５をＹ軸調節板６６に当接させ、第３ロックナット５６と第２調節ブロック６０を締結させ、そして第４チーズヘッドねじ７３を回転させ、第４チーズヘッドねじ７３をＹ軸調節板６６に当接させ、最後に第４ロックナット７４を回転させ、第４ロックナット７４と第３固定ブロック７２を締結させ、Ｙ軸調節板６６の位置決めを完了させる。 図３及び図４に示すように、底板４０の第２固定ブロック７６に近い側の頂部には第４取り付け溝が開けられ、第４取り付け溝内には第４固定ブロック５０がボルトを介して固定に取り付けられ、第４固定ブロック５０には第１挟持孔が開けられ、第１挟持孔内には第１ダイヤルゲージ４８が挟持され、第１ダイヤルゲージ４８のゲージヘッドは、Ｘ軸調節板５９に当接され、第４固定ブロック５０の頂部には第１ロック隙間５１が開けられ、第１ロック隙間５１は、第１挟持孔に連通し、前記第４固定ブロック５０の一端には第１貫通孔４９が開けられ、他端には第１ネジ孔が開けられ、第１ネジ孔は、第１貫通孔４９に対向して設けられ且つ第１ネジ孔及び第１貫通孔４９は、それぞれ第１ロック隙間５１に連通し、第１貫通孔４９内には第１ロックボルトが設けられる。締結させる時、第１ロックボルトを第１ネジ孔にネジ接続