KR-102961380-B1 - SYSTEM AND METHOD FOR TESTING AND SORTING ELECTRONIC COMPONENT

KR102961380B1KR 102961380 B1KR102961380 B1KR 102961380B1KR-102961380-B1

Abstract

전자 소자의 테스트와 분류 시스템은 분류 장치 및 테스트 장치를 포함한다. 테스트 장치는 분류 장치에 연결된다. 분류 장치는 제1 시동 신호를 출력한다. 테스트 장치는 제1 시동 신호에 응답하여 테스트 대상 장치를 테스트하여, 복수의 테스트 결과 신호를 생성하고, 제1 종료 신호 및 상기 테스트 결과 신호를 분류 장치에 출력한다. 분류 장치가 제1 종료 신호를 수신하고 상기 테스트 결과 신호 중의 하나가 어서트(asserted)되었을 때, 분류 장치는 제2 시동 신호를 테스트 장치에 출력한다. 테스트 장치는 제2 시동 신호에 응답하여 복수의 확인 신호를 생성하고, 제2 종료 신호 및 상기 확인 신호를 분류 장치에 출력한다. 분류 장치는 제2 종료 신호에 응답하여 상기 확인 신호에 기반하여, 적어도 테스트 결과 신호의 정확 여부를 판단한다.

Inventors

린, 이-순

Assignees

크로마 에이티이 인코포레이티드

Dates

Publication Date: 20260506
Application Date: 20250103
Priority Date: 20240110

Claims (20)

전자 소자의 테스트와 분류 시스템에 있어서, 제1 시동 신호를 출력하는 분류 장치; 및 상기 분류 장치에 연결된 테스트 장치로서, 상기 제1 시동 신호에 응답하여 테스트 대상 장치를 테스트하여, 복수의 테스트 결과 신호를 생성하고, 제1 종료 신호 및 상기 복수의 테스트 결과 신호를 상기 분류 장치에 출력하는 테스트 장치;를 포함하되, 상기 제1 종료 신호에 응답하여, 상기 복수의 테스트 결과 신호 중의 하나가 어서트(asserted)되었을 때, 상기 분류 장치는 제2 시동 신호를 상기 테스트 장치에 출력하며; 상기 테스트 장치는 상기 제2 시동 신호에 응답하여 복수의 확인 신호를 생성하고, 제2 종료 신호 및 상기 복수의 확인 신호를 상기 분류 장치에 출력하며; 상기 분류 장치는 상기 제2 종료 신호에 응답하여 상기 복수의 확인 신호에 기반하여, 적어도 상기 복수의 테스트 결과 신호 중 적어도 하나의 정확 여부를 판단하는, 전자 소자의 테스트와 분류 시스템.
제1 항에 있어서, 상기 테스트 대상 장치가 상기 테스트 장치의 모든 테스트 규칙을 통과할 때, 상기 테스트 장치에서 생성된 상기 테스트 결과 신호는 합격품 유형에 속하는, 전자 소자의 테스트와 분류 시스템.
제2 항에 있어서, 어서트된 상기 복수의 테스트 결과 신호 및 상기 합격품 유형에 속하는 상기 복수의 테스트 결과 신호 중 하나에 응답하여, 상기 분류 장치가 상기 제2 시동 신호를 상기 테스트 장치에 출력하는, 전자 소자의 테스트와 분류 시스템.
제1 항에 있어서, 상기 테스트 대상 장치가 상기 테스트 장치의 일부 테스트 규칙을 통과할 때, 상기 테스트 장치에서 생성된 상기 테스트 결과 신호는 제1 불량품 유형에 속하는, 전자 소자의 테스트와 분류 시스템.
제4 항에 있어서, 어서트된 상기 복수의 테스트 결과 신호 및 상기 제1 불량품 유형에 속하는 상기 복수의 테스트 결과 신호 중 하나에 응답하여, 상기 분류 장치가 상기 제2 시동 신호를 상기 테스트 장치에 출력하는, 전자 소자의 테스트와 분류 시스템.
제1 항에 있어서, 상기 테스트 대상 장치가 상기 테스트 장치의 어떠한 테스트 규칙도 통과하지 못할 때, 상기 테스트 장치에서 생성된 상기 테스트 결과 신호는 제2 불량품 유형에 속하는, 전자 소자의 테스트와 분류 시스템.
제6 항에 있어서, 상기 제2 불량품 유형에 속하는 상기 복수의 테스트 결과 신호에 응답하여, 상기 분류 장치가 상기 제2 시동 신호를 상기 테스트 장치에 출력하는 것을 취소하고, 상기 테스트 대상 장치를 제2 불량품 구역으로 분류하는, 전자 소자의 테스트와 분류 시스템.
제1 항에 있어서, 상기 분류 장치와 상기 테스트 장치 사이에 위치하여, 상기 테스트 결과 신호 및 상기 확인 신호를 전송하는, 복수의 신호 채널을 더 포함하되, 상기 테스트 장치는 상기 테스트 결과 신호에 대해 논리 반전 연산을 진행하여 상기 확인 신호를 생성하고, 상기 분류 장치는 동일한 상기 신호 채널에서 수신한 상기 테스트 결과 신호와 상기 확인 신호의 상보적 여부를 판단하며, 동일한 상기 신호 채널의 상기 테스트 결과 신호와 상기 확인 신호가 상보적인 경우, 상기 분류 장치는 각각의 상기 테스트 결과 신호를 정확한 것으로 판단하고, 동일한 상기 신호 채널의 상기 테스트 결과 신호와 상기 확인 신호가 상보적이지 않은 경우, 상기 분류 장치는 각각의 상기 테스트 결과 신호를 잘못된 것으로 판단하는, 전자 소자의 테스트와 분류 시스템.
제1 항에 있어서, 상기 분류 장치와 상기 테스트 장치 사이에 위치하여, 상기 테스트 결과 신호 및 상기 확인 신호를 전송하는, 복수의 신호 채널을 더 포함하되, 상기 테스트 장치에 제1 대조 서열값이 저장되어 있고, 상기 제1 대조 서열값을 이용하여 상기 확인 신호를 생성하며; 상기 분류 장치는 상기 신호 채널의 배열 순서에 기반하여, 수신된 상기 확인 신호를 포스트백 값으로 전환하고; 상기 분류 장치에는 상기 제1 대조 서열값과 동일한 제2 대조 서열값이 저장되어 있고, 상기 포스트백 값을 이용하여 연산값을 생성하며, 상기 연산값이 상기 제2 대조 서열값과 서로 부합되는지 여부를 판단하고, 상기 연산값이 상기 제2 대조 서열값과 서로 부합되면, 상기 분류 장치는 각각의 상기 테스트 결과 신호를 정확한 것으로 판단하고, 상기 연산값이 상기 제2 대조 서열값과 서로 부합되지 않으면, 상기 분류 장치는 각각의 상기 테스트 결과 신호를 잘못된 것으로 판단하는, 전자 소자의 테스트와 분류 시스템.
제9 항에 있어서, 상기 테스트 장치는 상기 신호 채널의 배열 순서에 기반하여, 생성된 상기 테스트 결과 신호를 제1 서열 조합값으로 전환하고, 상기 제1 대조 서열값 및 상기 제1 서열 조합값을 이용하여, 상기 확인 신호를 생성하되, 상기 분류 장치는 상기 신호 채널의 배열 순서에 기반하여, 수신된 상기 테스트 결과 신호를 제2 서열 조합값으로 전환하고, 상기 포스트백 값 및 상기 제2 서열 조합값을 이용하여, 상기 연산값을 생성하는, 전자 소자의 테스트와 분류 시스템.
전자 소자의 테스트와 분류 방법에 있어서, 분류 장치를 통해, 제1 시동 신호를 출력하는 단계; 테스트 장치를 통해, 복수의 테스트 결과 신호를 생성하기 위해 상기 제1 시동 신호에 응답하여 테스트 대상 장치를 테스트하고, 제1 종료 신호 및 상기 복수의 테스트 결과 신호를 상기 분류 장치에 출력하는 단계; 상기 제1 종료 신호에 응답하여 상기 복수의 테스트 결과 신호 중의 하나가 어서트(asserted)되었을 때, 상기 분류 장치를 통해 제2 시동 신호를 상기 테스트 장치에 출력하는 단계; 상기 테스트 장치를 통해, 상기 제2 시동 신호에 응답하여 복수의 확인 신호를 생성하고, 제2 종료 신호 및 상기 복수의 확인 신호를 상기 분류 장치에 출력하는 단계; 및 상기 분류 장치를 통해, 상기 제2 종료 신호에 응답하여 상기 복수의 확인 신호에 기반하여, 상기 복수의 테스트 결과 신호 중 적어도 하나의 정확 여부를 판단하는 단계;를 포함하는, 전자 소자의 테스트와 분류 방법.
제11 항에 있어서, 상기 테스트 대상 장치가 상기 테스트 장치의 모든 테스트 규칙을 통과할 때, 상기 테스트 장치에서 생성된 상기 테스트 결과 신호는 합격품 유형에 속하는, 전자 소자의 테스트와 분류 방법.
제12 항에 있어서, 어서트된 상기 복수의 테스트 결과 신호 및 상기 합격품 유형에 속하는 상기 복수의 테스트 결과 신호 중 하나에 응답하여, 상기 분류 장치가 상기 제2 시동 신호를 상기 테스트 장치에 출력하는, 전자 소자의 테스트와 분류 방법.
제11 항에 있어서, 상기 테스트 대상 장치가 상기 테스트 장치의 일부 테스트 규칙을 통과할 때, 상기 테스트 장치에서 생성된 상기 테스트 결과 신호는 제1 불량품 유형에 속하는, 전자 소자의 테스트와 분류 방법.
제14 항에 있어서, 어서트된 상기 복수의 테스트 결과 신호 및 상기 제1 불량품 유형에 속하는 상기 복수의 테스트 결과 신호 중 하나에 응답하여, 상기 분류 장치가 상기 제2 시동 신호를 상기 테스트 장치에 출력하는, 전자 소자의 테스트와 분류 방법.
제11 항에 있어서, 상기 테스트 대상 장치가 상기 테스트 장치의 어떠한 테스트 규칙도 통과하지 못할 때, 상기 테스트 장치에서 생성된 상기 테스트 결과 신호는 제2 불량품 유형에 속하는, 전자 소자의 테스트와 분류 방법.
제16 항에 있어서, 상기 제2 불량품 유형에 속하는 상기 복수의 테스트 결과 신호에 응답하여, 상기 분류 장치는 상기 제2 시동 신호를 상기 테스트 장치에 출력하는 것을 취소하고, 상기 테스트 대상 장치를 제2 불량품 구역으로 분류하는, 전자 소자의 테스트와 분류 방법.
제11 항에 있어서, 상기 분류 장치와 상기 테스트 장치는 복수의 신호 채널을 거쳐 상기 테스트 결과 신호 및 상기 확인 신호를 전송하되, 상기 테스트 장치는 상기 테스트 결과 신호에 대해 논리 반전 연산을 진행하여 상기 확인 신호를 생성하고, 상기 분류 장치는 동일한 상기 신호 채널에서 수신한 상기 테스트 결과 신호와 상기 확인 신호의 상보적 여부를 판단하며, 동일한 상기 신호 채널의 상기 테스트 결과 신호와 상기 확인 신호가 상보적인 경우, 상기 분류 장치는 각각의 상기 테스트 결과 신호를 정확한 것으로 판단하고, 동일한 상기 신호 채널의 상기 테스트 결과 신호와 상기 확인 신호가 상보적이지 않은 경우, 상기 분류 장치는 각각의 상기 테스트 결과 신호를 잘못된 것으로 판단하는, 전자 소자의 테스트와 분류 방법.
제11 항에 있어서, 상기 분류 장치와 상기 테스트 장치는 복수의 신호 채널을 거쳐 상기 테스트 결과 신호 및 상기 확인 신호를 전송하되, 상기 테스트 장치에 제1 대조 서열값이 저장되어 있고, 상기 제1 대조 서열값을 이용하여 상기 확인 신호를 생성하며; 상기 분류 장치는 상기 신호 채널의 배열 순서에 기반하여, 수신된 상기 확인 신호를 포스트백 값으로 전환하고; 상기 분류 장치에는 상기 제1 대조 서열값과 동일한 제2 대조 서열값이 저장되어 있고, 상기 포스트백 값을 이용하여 연산값을 생성하며, 상기 연산값이 상기 제2 대조 서열값과 서로 부합되는지 여부를 판단하고, 상기 연산값이 상기 제2 대조 서열값과 서로 부합되면, 상기 분류 장치는 각각의 상기 테스트 결과 신호를 정확한 것으로 판단하고, 상기 연산값이 상기 제2 대조 서열값과 서로 부합되지 않으면, 상기 분류 장치는 각각의 상기 테스트 결과 신호를 잘못된 것으로 판단하는, 전자 소자의 테스트와 분류 방법.
제19 항에 있어서, 상기 테스트 장치는 상기 신호 채널의 배열 순서에 기반하여, 생성된 상기 테스트 결과 신호를 제1 서열 조합값으로 전환하고, 상기 제1 대조 서열값 및 상기 제1 서열 조합값을 이용하여, 상기 확인 신호를 생성하되, 상기 분류 장치는 상기 신호 채널의 배열 순서에 기반하여, 수신된 상기 테스트 결과 신호를 제2 서열 조합값으로 전환하고, 상기 포스트백 값 및 상기 제2 서열 조합값을 이용하여, 상기 연산값을 생성하는, 전자 소자의 테스트와 분류 방법.

Description

전자 소자의 테스트와 분류 시스템 및 그 방법{SYSTEM AND METHOD FOR TESTING AND SORTING ELECTRONIC COMPONENT} 본 출원은 전자 소자 테스트 분야에 관한 것으로, 특히 전자 소자의 테스트와 분류 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 전자 소자(예를 들어 집적 회로)는 공장 출하 전에 테스트 장치에 의해 기능 상의 테스트를 진행하여 테스트 결과를 나타내는 복수의 테스트 결과 신호를 생성해야 한다. 이어서, 분류 장치가 테스트 장치의 상기 테스트 결과 신호에 기반하여, 전자 소자를 합격품 구역 또는 불량품 구역으로 분류한다. 이와 같이 합격품 구역으로 분류된 전자 소자를 출하하고 불량품 구역으로 분류된 전자 소자를 회수하여 그 잘못된 기능을 수정할 수 있다. 그러나 분류 장치가 테스트 장치에서 출력하는 상기 테스트 결과 신호의 정확 여부를 확정할 수 없어, 분류 장치가 전자 소자를 잘못 분류할 수 있다. 예를 들어, 테스트 장치가 합격품인 전자 소자를 테스트한다고 가정하면, 이때 테스트 장치에서 생성된 상기 테스트 결과 신호가 나타내는 테스트 결과는 합격품 결과이어야 한다. 그러나 테스트 장치가 상기 테스트 결과 신호를 분류 장치로 송신할 때 일부 요인(예를 들어 신호 손실 및 신호 간섭 등)으로 인해 분류 장치가 수신한 상기 테스트 결과 신호가 잘못(예를 들어 준위 변경)될 수 있다. 이때 분류 장치는 상기 잘못된 테스트 결과 신호에 기반하여, 전자 소자를 잘못 분류할 수 있다. 예를 들어, 합격품인 전자 소자를 불량품 구역으로 분류하거나 불량품인 전자 소자를 합격품 구역으로 분류한다. 도 1은 본 출원의 일부 실시예에 따른 전자 소자의 테스트와 분류 시스템의 블록 모식도이다. 도 2는 본 출원의 일부 실시예에 따른 전자 소자의 테스트와 분류 방법의 흐름도이다. 도 3은 본 출원의 일부 실시예에 따른 분류 장치와 테스트 장치 사이의 신호 채널 상의 신호의 파형 모식도이다. 도 4는 본 출원의 일부 실시예에 따른 전자 소자의 테스트와 분류 시스템의 블록 모식도이다. 도 5는 본 출원의 일부 실시예에 따른 분류 장치와 테스트 장치 사이의 신호 채널 상의 신호의 파형 모식도이다. 도 6은 본 출원의 일부 실시예에 따른 분류 장치와 테스트 장치 사이의 신호 채널 상의 신호의 파형 모식도이다. 본 명세서의 일부 실시예에서, 단일 신호의 어서트는 신호가 「1」 상태에 처한 것을 의미하고, 다시 말해서 신호의 어서트는 수위(digit position)값 「1」에 대응되며; 신호의 디어서트(de-asserted)는 신호가 「0」 상태에 처한 것을 의미하고, 다시 말해서 신호의 디어서트는 수위값 「0」에 대응된다. 예를 들어, 신호의 어서트는 신호가 하이 레벨에 처한 것을 의미하고, 신호의 디어서트는 신호가 로우 레벨에 처한 것을 의미한다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고, 다른 일부 실시예에서, 단일 신호의 어서트는 신호가 「0」 상태에 처한 것을 의미하고, 다시 말해서 신호의 어서트는 수위값 「0」에 대응되며; 신호의 디어서트는 신호가 「1」 상태에 처한 것을 의미하고, 다시 말해서 신호의 디어서트는 수위값 「1」에 대응된다. 예를 들어, 신호의 어서트는 신호가 로우 레벨에 처한 것을 의미하고, 신호의 디어서트는 신호가 하이 레벨에 처한 것을 의미한다. 일부 실시예에서, 다른 종류의 신호의 어서트는 다른 상태 및 다른 수위값에 대응될 수 있고, 다른 종류의 신호의 디어서트는 다른 상태 및 다른 수위값에 대응될 수 있다. 예를 들어, 특정 종류의 신호의 어서트가 「1」 상태(수위값 「1」)에 처하고, 상기 특정 종류의 신호의 디어서트가 「0」 상태(수위값 「0」)에 처하면, 다른 종류의 신호의 어서트는 「0」 상태(수위값 「0」)에 처하고, 상기 다른 종류의 신호의 디어서트는 「1」 상태(수위값 「1」)에 처한다. 일부 실시예에서, 다른 시스템에 따라 하이 레벨 또는 로우 레벨 신호를 유효 신호로 할 수 있고; 예를 들어, 하이 레벨 신호는 +5 V(양의 값 5볼트)로 구현되고, 로우 레벨 신호는 0 V로 구현된다. 본 명세서에서, 제1 신호와 제2 신호가 반대의 상태에 처하면, 제1 신호가 제2 신호에 논리적 반전인 것을 나타낸다. 예를 들어, 제1 신호가 로우 레벨이고 제2 신호가 하이 레벨이거나; 또는 제1 신호가 하이 레벨이고 제2 신호가 로우 레벨일 때, 제1 신호가 제2 신호에 논리적 반전이라고 칭한다. 다시 말해서, 제1 신호가 어서트되고 제2 신호가 디어서트되거나; 또는 제1 신호가 디어서트되고 제2 신호가 어서트되었을 때, 제1 신호가 제2 신호에 논리적 반전이라고 칭한다. 제1 신호가 제2 신호의 논리적 반전이면, 제1 신호와 제2 신호가 상보적인 것을 나타낸다. 도 1을 참조하여, 본 출원의 일부 실시예에 따른 전자 소자의 테스트와 분류 시스템(10)의 블록 모식도이다. 전자 소자의 테스트와 분류 시스템(10)은 분류 장치(20) 및 테스트 장치(30)를 포함한다. 분류 장치(20)는 테스트 장치(30)에 연결되어, 테스트 장치(30)와 통신을 진행한다. 구체적으로, 분류 장치(20)와 테스트 장치(30) 사이는 복수의 신호 채널(예를 들어 제1 신호 채널(SOT), 제2 신호 채널(EOT), 제3 신호 채널(Bin1), 제4 신호 채널(Bin2) 및 제5 신호 채널(Bin3))을 거쳐 신호를 전송한다. 일부 실시예에서, 분류 장치(20)와 테스트 장치(30) 사이는 예를 들어 트랜지스터-트랜지스터 로직(Transistor-transistor logic, TTL)으로 신호를 전송하는 방식을 이용하여 통신을 진행한다. 여기서, 도 1에 다섯 개의 신호 채널(즉 제1 신호 채널(SOT), 제2 신호 채널(EOT), 제3 신호 채널(Bin1), 제4 신호 채널(Bin2) 및 제5 신호 채널(Bin3))만 도시하였으나, 본 출원은 이에 한정되지 않고, 분류 장치(20)와 테스트 장치(30) 사이의 신호 채널의 수는 다섯 개 미만이거나 또는 다섯 개를 초과할 수 있다. 분류 장치(Handler)(20)는 테스트 장치(30)에 의해 포스트백된 테스트 결과 신호(상세하게 후술됨)에 기반하여, 테스트 대상 장치(40)(예를 들어 집적 회로)를 대응되는 구역(예를 들어 합격품 구역, 제1 류 불량품 구역, 제2 류 불량품 구역 또는 재테스트 구역 등)으로 분류할 수 있다. 다른 실시예에서, 분류 장치(20)는 제어 장치와 같은 다른 테스트 주변 설비일 수도 있고, 이는 테스트 대상 장치(40)에 대해 기능상의 테스트를 진행하도록 테스트 장치(30)를 조작할 수 있고, 테스트 장치(30)에 의해 포스트백된 테스트 결과 신호(상세하게 후술됨)에 기반하여, 테스트 결과(예를 들어 테스트 결과 신호의 수위값)의 저장 또는 상응한 동작을 수행한다. 테스트 장치(30)는 IC 보드급의 테스트 장치, 웨이퍼 CP(Chip Probing) 테스트 장치, 패키징 후 완성품 FT 테스트 장치, 시스템 급 SLT 테스트 장치, 신뢰성 테스트 장치(예를 들어 Burn-in 테스트)일 수 있다. 다시 말해서, 테스트 대상 장치(40)는 웨이퍼, 베어 다이 및 반도체 패키징 구성요소 등을 포함(이에 한정되지 않음)할 수 있거나, 예를 들어 LED, 저항, 인덕턴스 또는 정전용량 등과 같은 기타의 수동 요소일 수도 있다. 도 1 내지 도 3을 참조하여, 도 2는 본 출원의 일부 실시예에 따른 전자 소자의 테스트와 분류 방법의 흐름도이고, 도 3은 본 출원의 일부 실시예에 따른 분류 장치(20) 및 테스트 장치(30) 사이의 신호 채널 상의 신호의 파형 모식도이다. 전자 소자의 테스트와 분류 시스템(10)은 특정 테스트 대상 장치(40)에 대해 본 출원에 따른 전자 소자의 테스트 방법을 수행하기에 적합하다. 설명의 편이를 위해, 본 출원은 도 3의 파형 모식도를 세 개의 블록(즉 제1 블록(A), 제2 블록(B) 및 제3 블록(C))으로 구분한다. 제1 블록(A), 제2 블록(B) 및 제3 블록(C)은 각각 전자 소자의 테스트와 분류 시스템(10)이 상이한 테스트 대상 장치(40)에 대해 테스트를 진행할 때 생성되는 파형이다. 이하 제1 블록(A)의 파형(즉 전자 소자의 테스트와 분류 시스템(10)이 특정 테스트 대상 장치(40)에 대해 본 출원에 따른 전자 소자의 테스트와 분류 방법을 수행할 때 생성되는 파형)으로 설명하고자 한다. 단계 S201에서, 분류 장치(20)는 제1 신호 채널(SOT)을 거쳐, 제1 시동 신호(SOT_1)를 테스트 장치(30)에 출력한다. 구체적으로, 분류 장치(20)는 제1 신호 채널(SOT)을 거쳐, 어서트 상태의 제1 시동 신호(SOT_1)를 테스트 장치(30)에 출력하고, +5 V에 비해 로우 레벨이기에 상기 제1 시동 신호(SOT_1)는 0 V의 로우 레벨 신호이다. 다른 실시예에서, 제1 시동 신호(SOT_1)는 0 V(로우 레벨 신호)에 비해 하이 레벨인 유효 신호일 수도 있고, 예를 들어 +5 V를 하이 레벨 신호로 한다. 단계 S203에서, 테스트 장치(30)는 제1 신호 채널(SOT)을 거쳐 제1 시동 신호(SOT_1)를 수신하고, 제1 시동 신호(SOT_1)의 수신에 응답하여 테스트 대상 장치(40)를 테스트하여, 복수의 테스트 결과 신호(예를 들어 제1 테스트 결과 신호(Bin1_1), 제2 테스트 결과 신호(Bin2_1) 및 제3 테스트 결과 신호(Bin3_1))를 생성한다. 테스트 장치(30)는 후속 처리에 사용될 수 있도록, 생성된 테스트 결과를 저장하기도 한다. 이어서, 테스트 장치(30)는 제1 신호 채널(SOT)과 제2 신호 채널(EOT) 이외의 다른 신호 채널(예를 들어 제3 신호 채널(Bin1), 제4 신호 채널(Bin2) 및 제5 신호 채널(Bin3))을 거쳐 각각 상기 테스트 결과 신호를 분류 장치(20)에 출력한다. 구체적으로, 테스트 장치(30)는 제3 신호 채널(Bin1)을 거쳐 제1 테스트 결과 신호(Bin1_1)를 출력하고, 제4 신호 채널(Bin2)을 거쳐 제2 테스트 결과 신호(Bin2_1)를 출력하며, 제5 신호 채널(Bin3)을 거쳐 제3 테스트 결과 신호(Bin3_1)를 출력한다.