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KR-20260061010-A - ELECTRONIC COMPONENT INSPECTION DEVICE AND TAPE FOR ELECTRONIC COMPONENT INSPECTION DEVICE

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Abstract

[과제] 테이프의 표면에 부착된 복수의 전자 부품의 칩의 상태를 직접 확인하면서 정밀도 높게 검사할 수 있으며, 검사의 작업 속도를 향상시키는 전자 부품의 검사 장치, 및 검사 장치용 테이프를 제공한다. [해결 수단] 본 발명의 검사 장치는, X방향으로 이동 가능하며, 테이프(TA)의 2개의 외연부를 협지하는 한 쌍의 협지 지그와, X방향으로 서로 대향하며, 회전 가능하고 또한 X방향으로 이동 가능한 한 쌍의 훑음용 휠(W)과, 협지 지그 및 훑음용 휠(W)을 구동하는 구동 수단(모터(MWL, MWR, MRL))과, 테이프(TA)의 표면에 부착된 복수의 칩(TI)의 상태를 검사하는 검사 수단(51)을 구비하고, 검사 장치는, 표면을 외측으로 하여 접힌 테이프(TA)를 협지한 상태에서, 훑음용 휠(W)을 회전시킴으로써, 협지된 테이프(TA)를 훑어, 검사 수단(51)에 의해, 훑음용 휠(W)의 사이에 노출된 테이프(TA)의 부분을 관찰함으로써, 칩(TI)의 상태를 검사한다.

Inventors

  • 와타나베 다이스케
  • 이케다 유토
  • 후지와라 다카요시

Assignees

  • 디아이씨 가부시끼가이샤

Dates

Publication Date
20260506
Application Date
20251002
Priority Date
20241025

Claims (11)

  1. 테이프의 표면에 부착된 복수의 전자 부품의 칩의 상태를 검사하는 전자 부품의 검사 장치로서, 수평의 X방향으로 서로 대향하며, 상기 X방향으로 각각 이동 가능함과 더불어, 상기 테이프의 2개의 외연부를 각각 협지하기 위한 한 쌍의 협지 지그와, 원형의 단면을 가지며, 상기 X방향으로 서로 대향하며, 각각 회전 가능하고 또한 상기 X방향으로 이동 가능한 한 쌍의 훑음용 휠과, 상기 협지 지그 및 상기 훑음용 휠을 각각 구동하는 구동 수단과, 상기 테이프의 표면에 부착된 복수의 전자 부품의 칩의 상태를 검사하는 검사 수단을 구비하고, 당해 검사 장치는, 상기 표면을 외측으로 하여 접힌 상기 테이프를 상기 한 쌍의 훑음용 휠의 사이에 협지함과 더불어, 상기 한 쌍의 훑음용 휠을 회전시킴으로써, 상기 협지된 테이프를 훑어, 상기 검사 수단에 의해, 상기 한 쌍의 훑음용 휠의 사이에 노출된 상기 테이프의 부분을 관찰함으로써, 상기 칩의 상태를 검사하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되며, 상기 테이프를 수취하여, 상기 한 쌍의 훑음용 휠의 사이에 삽입하기 위한 받이재를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 받이재는, 상기 테이프가 재치(載置)되는 받이판에 의해 구성되어 있고, 상기 한 쌍의 협지 지그를 상기 받이판에 재치된 상기 테이프에 접근시킴과 더불어, 상기 한 쌍의 협지 지그에 의해 상기 테이프의 2개의 외연부를 각각 협지하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 받이판은 접기 가능하게 구성되어 있고, 상기 받이판을 접힌 상태로 변형시키며, 상기 한 쌍의 협지 지그를 중앙 측으로 이동시키면서 상기 받이판을 상기 한 쌍의 훑음용 휠의 사이에 삽입함으로써, 상기 한 쌍의 훑음용 휠의 사이에 상기 테이프를 삽입하여 협지하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치.
  5. 청구항 2에 있어서, 상기 테이프를 반송하며, 상기 받이재에 수도(受渡)하는 반송 기구를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 테이프를 협지한 상태에서, 상기 한 쌍의 훑음용 휠을 서로 같은 방향으로 같은 각도 회전시킴과 동시에, 당해 훑음용 휠의 회전에 따라 상기 한 쌍의 협지 지그를 서로 같은 방향으로 같은 거리 이동시킴으로써, 상기 훑음용 휠의 사이에 협지되는 상기 테이프의 위치를 옮기면서, 상기 테이프의 복수의 위치에 있어서, 상기 칩의 상태를 검사하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치.
  7. 청구항 1에 있어서, 상기 훑음용 휠은, 상기 협지한 칩의 손상과 상기 훑음용 휠에 대한 부착을 억제하는 소정의 경도를 갖는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 훑음용 휠은 우레탄 수지로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치.
  9. 청구항 1에 있어서, 상기 전자 부품이 적층 세라믹 콘덴서인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치.
  10. 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 기재된 전자 부품의 검사 장치에 이용되는 테이프로서, 상기 테이프는, 기재(基材)와, 당해 기재의 한쪽 면에 적층된 점착제층을 가지며, 상기 기재는 열가소성 엘라스토머를 함유하며, 상기 점착제층은, 아크릴계, 합성 고무계, 실리콘계, 우레탄계 수지 중 어느 하나를 함유하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치용 테이프.
  11. 청구항 10에 있어서, 상기 테이프의 이면은, 상기 전자 부품이 부착된 상기 표면보다 활성도(滑性度)가 높은 것을 특징으로 하는 전자 부품의 검사 장치용 테이프.

Description

전자 부품의 검사 장치 및 전자 부품의 검사 장치용 테이프{ELECTRONIC COMPONENT INSPECTION DEVICE AND TAPE FOR ELECTRONIC COMPONENT INSPECTION DEVICE} 본 발명은, 테이프의 표면에 서로 인접한 상태로 부착된 복수의 전자 부품의 칩의 상태를 검사하기 위한 전자 부품의 검사 장치 및 전자 부품의 검사 장치용 테이프에 관한 것이다. 종래의 전자 부품의 검사 장치로서, 예를 들면 특허문헌 1에 개시된 것이 알려져 있다. 이 검사 장치는, 칩 부품 등의 검사 대상물의 외관 검사를 행하는 것이다. 검사 장치는, 동일한 소정의 직선 편광 특성을 갖는 적색광, 녹색광 및 청색광을 검사 대상물에 상하가 상이한 각도로부터 조사하는 복수의 조명 장치와, 검사 대상물로부터의 반사광을, 소정의 직선 편광 특성을 갖는 반사광과, 소정의 직선 편광 특성이 제거된 반사광으로 분리하는 편광 빔 스플리터와, 분리된 반사광을 동시에 촬영하는 컬러 카메라와, 컬러 카메라의 화상으로부터 적색, 녹색 및 청색 성분을 추출하는 화상 처리 장치를 구비한다. 이 구성에서는, 화상 처리 장치로 처리된 화상을 해석함으로써, 검사 대상물의 결함이 검사됨과 더불어, 조명 장치의 조사 각도를 최적화함으로써, 많은 결함이 현재화(顯在化)된다. 도 1은, 본 발명의 검사 장치가 적용되는 테이프를 나타내는 사시도이다. 도 2는, 본 발명의 일 실시 형태에 의한 전자 부품의 검사 장치를, 테이프를 한 쌍의 협지 롤로 협지한 상태로 나타내는 사시도이다. 도 3은, 도 2의 검사 장치를 나타내는 평면도이다. 도 4는, 도 2의 검사 장치를 나타내는 정면도이다. 도 5는, 도 2의 검사 장치를 나타내는 우측면도이다. 도 6은, 테이프의 반송 기구를 나타내는 사시도이다. 도 7은, 받이판 기구를 (a) 받이판이 전개된 상태, 및 (b) 받이판이 닫힌 상태로 나타내는 도면이다. 도 8은, 도 2의 검사 장치를, 한 쌍의 훑음용 휠이 중앙 측으로 이동함과 더불어 받이판이 테이프를 밀어 올리기 시작한 상태로 나타내는 사시도이다. 도 9는, 도 2의 검사 장치를, 접힌 테이프가 한 쌍의 훑음용 휠의 사이에 협지된 상태로 나타내는 사시도이다. 도 10은, 훑음 동작 후에, 한 쌍의 훑음용 휠의 사이에 노출된 칩의 절단면을 검사 수단으로 검사하는 상황을 나타내는 도면이다. 도 11은, 도 2의 검사 장치를, 테이프의 4개의 외연부를 4개의 협지 롤로 협지한 상태로 나타내는 사시도이다. 이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대하여 상세히 설명한다. 검사 장치는, 테이프(TA)의 표면에 부착된 다수의 전자 부품의 칩(TI)의 상태를 검사하는 것이다. 본 실시 형태에서는, 이 검사는, 다수의 칩(TI)들을 분리하기 위한 테이프(TA)의 훑음 동작 시에 행해진다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 테이프(TA)는, 정방형상이며, 적당한 점착성이나 신장성, 강도 등을 갖는다. 도시하지 않지만, 테이프(TA)는, 예를 들면 기재와, 그 한쪽 면에 적층된 점착제층을 가지며, 총두께=10~500μm의 것이다. 기재는, 두께=10~400μm이고, 열가소성 엘라스토머를 함유하는 신장하는 재질의 것이며, 예를 들면 스티렌계 수지나 우레탄계 수지, 올레핀계 수지, 아크릴계 수지로 구성되어 있다. 점착제층은, 두께=1~100μm이고, 예를 들면 아크릴계, 합성 고무계, 실리콘계, 우레탄계 수지 중 어느 하나를 함유하고 있다. 또, 테이프(TA)의 이면의 활성도는, 칩(TI)이 부착되는 표면의 활성도보다 높아지도록(미끄러지기 쉽도록) 설정되어 있다. 테이프(TA)의 중앙의 직사각형의 영역에는, 다수의 칩(TI)이 부착되어 있다. 칩(TI)은, 전자 부품, 예를 들면 MLCC(적층 세라믹 콘덴서)의 칩이다. 테이프(TA)에 시트 형상의 MLCC의 원료를 부착한 후, 커터로 격자 형상으로 절단함으로써, 테이프(TA) 상에 다수의 칩(TI)이 형성되어 있다. 도 2 등에 나타내는 바와 같이, 검사 장치는, 테이프(TA)를 훑어, 칩(TI)을 분리하기 위한 한 쌍의 훑음용 휠(W, W)과, 테이프(TA)의 외연부를 협지하기 위한 한 쌍의 제1 협지 롤(S1, S1) 및 한 쌍의 제2 협지 롤(S2, S2)과, 훑음용 휠(W)이나 제1 및 제2 협지 롤(S1, S2) 등을 구동하는 모터류(MWR, MWL, MRL)와, 테이프(TA)를 반송하는 반송 기구(3)(도 6 참조)와, 테이프(TA)를 수취하여, 훑음용 휠(W, W)의 사이에 삽입하기 위한 받이판 기구(4)(도 7 참조)와, 훑음 동작 시에, 칩(TI)의 분리 상태 등을 검사하기 위한 검사 수단(51)(도 10 참조)을 구비한다. 훑음용 휠(W)은, 단면 원형의 비교적 가늘고 긴 원기둥 형상으로 형성되어 있다. 훑음용 휠(W)은, 훑음 동작 시에, 협지한 칩(TI)의 손상이나 훑음용 휠(W)에 대한 부착을 억제하는 재질과 적당한 경도를 갖는 것이 바람직하다. 이 관점에서, 본 실시 형태에서는, 예를 들면 경도 50 정도의 우레탄 수지가 채용되고 있다. 한 쌍의 훑음용 휠(W, W)은, X방향으로 서로 대향하며, 각각 Y방향으로 연장되어 있고, 동축 형상의 휠축(11)을 개재하여, 양단부에 있어서 지지구(12, 12)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 각 지지구(12)는, X방향으로 연장되는 레일(13) 상에 이동 가능하게 설치되어 있으며, 한쪽 지지구(12)에는 직진용 모터(MWL)가 설치되어 있다. 또, 휠축(11)의 일단부에는, 회전용 모터(MWR)가 연결되어 있다. 이상의 구성으로부터, 직진용 모터(MWL)를 작동시키면, 지지구(12, 12)와, 이것에 지지된 훑음용 휠(W)이 구동되고, 레일(13)을 따라 X방향으로 이동한다. 또, 회전용 모터(MWR)를 작동시키면, 훑음용 휠(W)이 직접 회전 구동된다. 이들 직진용 모터(MWL) 및 회전용 모터(MWR)의 동작은, 제어 장치(도시하지 않음)에 의해 제어된다. 제1 협지 롤(S1, S1)은 X방향으로 대향하고, 제2 협지 롤(S2, S2)은 Y방향으로 대향하도록 배치되어 있으며, 그들의 구성은 같으므로, 이하, 제1 협지 롤(S1)의 구성에 대하여 설명한다. 도 2나 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 협지 롤(S1)은, 양단부에 있어서 한 쌍의 지지 아암(23, 23)에 회동 가능하게 지지된 본체부(21)와, 본체부(21)에 힌지를 개재하여 회동 가능하게 장착된 협지부(22)를 갖는다. 본체부(21)와 협지부(22)는, 협지부(22)를 닫았을 때에 평탄한 맞댐면들이 맞대어짐으로써, 전체적으로 원기둥을 구성하는 것과 같은 상보적인 형상을 갖는다. 이들 맞댐면에는, 도시하지 않는 자석과 자성체가 설치되어 있으며, 자석의 흡착력에 의해, 본체부(21)와 협지부(22) 사이에 테이프(TA)가 강고하게 협지된다. 본체부(21)를 지지하는 지지 아암(23)은, X방향으로 연장되는 레일(24)에 이동 가능하게 설치되어 있으며, 지지 아암(23)에는 직진용 모터(MRL)가 설치되어 있다. 또, 본체부(21)에는, 회전용 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있다. 이 구성으로부터, 직진용 모터(MRL)를 작동시키면, 지지 아암(23)과, 이것에 지지된 제1 협지 롤(S1)이 구동되고, 레일(24)을 따라 X방향으로 이동한다. 또, 회전용 모터를 작동시키면, 제1 협지 롤(S1)이 직접 회전 구동된다. 이들 직진용 모터(MRL) 및 회전용 모터의 동작은, 제어 장치에 의해 제어된다. 제2 협지 롤(S2)은, 제1 협지 롤(S1)과 같은 구성을 갖는다. 따라서, 그 직진용 모터(MRL)를 작동시키면, 지지 아암(23)과, 이것에 지지된 제2 협지 롤(S2)이, 레일(24)을 따라 Y방향으로 이동하고, 회전용 모터를 작동시키면, 제2 협지 롤(S2)이 직접 회전 구동된다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 반송 기구(3)는, 도시하지 않는 레일을 따라 화살표 방향으로 이동 가능한 흡착 유닛(32)을 구비한다. 흡착 유닛(32)은, 본체부(33)와, 본체부(33)의 하단부에 설치된 흡착판(34)과, 흡착판(34)의 하면의 네 귀퉁이에 설치되며, 진공원(도시하지 않음)에 접속된 복수의 흡인부(35)를 갖는다. 이 구성에 의해, 진공원으로부터 부압이 공급되고 있을 때는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 테이프(TA)는, 부압에 의해 흡인부(35)에 흡착된다. 이 상태로부터, 부압의 공급이 정지되면, 테이프(TA)의 흡착이 해제되며, 테이프(TA)는 흡착판(34)으로부터 이탈하고, 낙하한다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 받이판 기구(4)는, 접기 가능한 정방형의 받이판(41)과, 받이판(41)을 접힘부를 따라 지지하는 지지판(42)과, 지지판(42)의 하단부에 일체로 설치된 기부(基部)(43)와, 기부(43)의 양측에 연결되며, 수평으로 연장되는 한 쌍의 연결봉(44)과, 각 연결봉(44)의 외단부(外端部)의 구멍에 통과되며, 연직으로 연장되는 가이드봉(45)과, 가이드봉(45)의 상단부에 설치된 장착구(46)와, 기부(43)를 상하 방향으로 구동하는 모터(MP)(도 5 참조)를 구비한다. 이 구성에서는, 받이판(41)은, 하측의 대기 위치에 있을 때는, 도 7의 (a)에 나타내는 것과 같은 전개 상태에 있다. 이 상태로부터, 모터(MP)를 소정의 방향으로 회전시키면, 연결봉(44) 및 가이드봉(45)에 의해 안내되면서, 기부(43), 지지판(42) 및 받이판(41)이 함께 상승한다. 그리고, 그 상승량이 소정값에 달했을 때에, 받이판(41)은, 예를 들면 스토퍼(도시하지 않음)에 맞닿음으로써, 동도면 (b)에 나타내는 것과 같은 접힌 상태가 된다. 모터(MP)의 동작은 제어 장치에 의해 제어된다. 검사 수단(51)은, 테이프(TA)의 훑음 동작 시에 칩(TI)의 분리 상태를 검사하기 위한 것이다. 본 실시 형태에서는, 검사 수단(51)은, 예를 들면, 칩(TI)의 절단면 등을 촬영하는 카메라 등의 촬상 장치에 의해 구성되어 있다. 촬영된 화상이나 영상이, 실시간으로 또는 나중의 적당한 타이밍에 관찰됨으로써, 검사가 행해진다. 다음으로, 상술한 구성의 분리 장치