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KR-20260061484-A - EQUIPMENT FRONT END MODULES INCLUDING MULTIPLE ALIGNERS, ASSEMBLIES, AND METHODS

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Abstract

장비 프론트 엔드 모듈은 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 형성하는 장비 프론트 엔드 모듈 바디를 포함할 수 있다. 장비 프론트 엔드 모듈 바디는 복수의 벽들을 포함할 수 있다. 하나 이상의 로드 록들 또는 프로세스 챔버들은 하나 이상의 제1 벽들에 커플링될 수 있다. 하나 이상의 로드 포트들이 하나 이상의 제2 벽들에 제공될 수 있으며, 여기서, 하나 이상의 로드 포트들 각각은 기판 캐리어를 도킹하도록 구성된다. 복수의 정렬 페디스털들은 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내에 하우징될 수 있다. 로드/언로드 로봇은 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내에 적어도 부분적으로 하우징될 수 있으며, 여기서, 로드/언로드 로봇은 복수의 블레이드들을 포함할 수 있다. 다른 장치 및 방법들이 개시된다.

Inventors

  • 베르간츠, 니콜라스, 마이클

Assignees

  • 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Dates

Publication Date
20260506
Application Date
20200422
Priority Date
20200415

Claims (15)

  1. 장비 프론트 엔드 모듈(equipment front end module)로서, 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 형성하는 장비 프론트 엔드 모듈 바디(body) ― 상기 장비 프론트 엔드 모듈 바디는 복수의 벽들을 포함함 ―; 하나 이상의 제1 벽들에 커플링된 하나 이상의 로드 록(load lock)들 또는 프로세스 챔버들; 하나 이상의 제2 벽들에 제공되는 하나 이상의 로드 포트들 ― 상기 하나 이상의 로드 포트들 각각은 기판 캐리어를 도킹(dock)하도록 구성됨 ―; 상기 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내에 하우징된 복수의 정렬 페디스털(pedestal)들; 및 상기 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내에 적어도 부분적으로 하우징된 로드/언로드 로봇(load/unload robot)을 포함하며, 상기 로드/언로드 로봇은 복수의 블레이드(blade)들을 포함하는, 장비 프론트 엔드 모듈.
  2. 제1항에 있어서, 벽에 커플링된 측부 저장 포드(pod) 장치를 포함하며, 상기 측부 저장 포드 장치에 대한 포드 개구는 상기 복수의 정렬 페디스털들보다 높은 위치에 포지셔닝되는, 장비 프론트 엔드 모듈.
  3. 제1항에 있어서, 상기 로드/언로드 로봇은 2개의 블레이드들을 포함하는, 장비 프론트 엔드 모듈.
  4. 제1항에 있어서, 상기 로드/언로드 로봇은 상기 하나 이상의 로드 포트들과 상기 복수의 정렬 페디스털들 사이에서 다수의 기판들을 동시에 이송하도록 구성되고 동작가능한, 장비 프론트 엔드 모듈.
  5. 제1항에 있어서, 상기 복수의 정렬 페디스털들 중 적어도 2개는 서로에 대해 수직으로 오프셋되는, 장비 프론트 엔드 모듈.
  6. 제5항에 있어서, 상기 기판 캐리어는 복수의 지지 부재들을 포함하며, 상기 복수의 지지 부재들 중 적어도 2개는, 상기 복수의 정렬 페디스털들 중 적어도 2개가 서로에 대해 수직으로 오프셋되는 거리와 실질적으로 동일한 거리만큼 서로 수직으로 이격되는, 장비 프론트 엔드 모듈.
  7. 제5항에 있어서, 측부 저장 포드 장치를 포함하며, 상기 측부 저장 포드 장치는, 상기 복수의 정렬 페디스털들 중 적어도 2개가 서로에 대해 수직으로 오프셋되는 거리와 실질적으로 동일한 간격만큼 서로 수직으로 이격된 포트 지지 부재들을 포함하는, 장비 프론트 엔드 모듈.
  8. 제5항에 있어서, 상기 복수의 정렬 페디스털들 중 적어도 2개가 서로에 대해 수직으로 오프셋되는 거리는 7 mm 내지 40 mm의 범위인, 장비 프론트 엔드 모듈.
  9. 제5항에 있어서, 상기 복수의 정렬 페디스털들 중 적어도 2개는 서로 적어도 부분적으로 중첩되며, 상기 복수의 정렬 페디스털들 중 적어도 2개가 서로 중첩되는 거리는 120 mm 내지 300 mm의 범위인, 장비 프론트 엔드 모듈.
  10. 제1항에 있어서, 상기 로드/언로드 로봇은, 상기 하나 이상의 로드 포트들에 접근하면서 상기 복수의 블레이드들의 서로에 대한 수직 정렬을 제공하도록 구성되는, 장비 프론트 엔드 모듈.
  11. 제1항에 있어서, 상기 로드/언로드 로봇은, 상기 복수의 정렬 페디스털들에 접근하면서 상기 복수의 블레이드들의 서로에 대한 수직 정렬을 제공하도록 구성되며, 상기 복수의 블레이드들 사이의 수직 오정렬은 상기 복수의 정렬 페디스털들 사이의 간격에 비례하는, 장비 프론트 엔드 모듈.
  12. 전자 디바이스 프로세싱 조립체로서, 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 형성하는 장비 프론트 엔드 모듈 바디; 상기 장비 프론트 엔드 모듈 바디의 하나 이상의 제1 벽들에 커플링되는 하나 이상의 로드 록들 ― 상기 하나 이상의 로드 록들은 이송 챔버 또는 프로세스 챔버 내외로 기판들을 교환하도록 구성됨 ―; 상기 장비 프론트 엔드 모듈 바디의 하나 이상의 제2 벽들에 제공되는 하나 이상의 로드 포트들 ― 상기 하나 이상의 로드 포트들 각각은 기판 캐리어를 도킹하도록 구성됨 ―; 상기 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내에 하우징된 복수의 정렬 페디스털들; 및 상기 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내에 적어도 부분적으로 하우징된 로드/언로드 로봇을 포함하며, 상기 로드/언로드 로봇은 상기 하나 이상의 로드 포트들과 상기 복수의 정렬 페디스털들 사이에서 다수의 기판들을 동시에 이송하도록 구성된 복수의 블레이드들을 포함하는, 전자 디바이스 프로세싱 조립체.
  13. 제12항에 있어서, 상기 복수의 정렬 페디스털들 중 적어도 2개는 서로에 대해 수직으로 오프셋되며, 상기 복수의 블레이드들 중 적어도 2개는, 상기 복수의 정렬 페디스털들 중 적어도 2개가 서로에 대해 수직으로 오프셋되는 거리만큼 서로 수직으로 이격되는, 전자 디바이스 프로세싱 조립체.
  14. 제12항에 있어서, 상기 복수의 정렬 페디스털들 중 적어도 2개는 서로 수평으로 이격되며, 상기 복수의 블레이드들 중 적어도 2개는, 상기 복수의 정렬 페디스털들 중 적어도 2개가 서로 수평으로 이격되는 거리만큼 서로 수직으로 오정렬되도록 이동가능한, 전자 디바이스 프로세싱 조립체.
  15. 장비 프론트 엔드 모듈을 동작시키는 방법으로서, 수직으로-적층된 기판 저장 디바이스들에 접근하도록 로드/언로드 로봇의 블레이드들을 수직으로 정렬된 포지션으로 이동시키는 단계; 및 복수의 정렬 페디스털들에 동시에 접근하도록 상기 로드/언로드 로봇의 블레이드들을 수직으로 오정렬된 포지션으로 이동시키는 단계를 포함하는, 장비 프론트 엔드 모듈을 동작시키는 방법.

Description

다수의 정렬기들을 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈들, 조립체들, 및 방법들{EQUIPMENT FRONT END MODULES INCLUDING MULTIPLE ALIGNERS, ASSEMBLIES, AND METHODS} [001] 본 개시내용의 실시예들은 장비 프론트 엔드 모듈(equipment front end module; EFEM)들, 전자 디바이스 프로세싱 조립체들, 및 장비 프론트 엔드 모듈들을 동작시키기 위한 방법들에 관한 것이다. [002] 반도체 디바이스 제조에서의 기판들의 프로세싱은, 기판 캐리어들, 이를테면 FOUP(Front Opening Unified Pod)들 내의 프로세스 툴들 사이에서 기판들이 이동하는 다수의 프로세스 툴들에서 수행된다. 기판 캐리어들은 로드/언로드 로봇(load/unload robo)을 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM)의 전방 벽에 도킹(dock)될 수 있다. 로드/언로드 로봇은 기판 캐리어들과, 전방 벽에 대향하는 EFEM의 후방 벽에 커플링된 하나 이상의 목적지들(예컨대, 로드 록(load lock)들 또는 프로세스 챔버들) 사이에서 기판들을 이송하도록 동작가능하다. 그러나, 일부 예시들에서, 기존의 EFEM들은 특정한 기판 스루풋 제한들을 갖는다. [003] 일부 실시예들에서, 장비 프론트 엔드 모듈들이 제공된다. 장비 프론트 엔드 모듈은, 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 형성하는 장비 프론트 엔드 모듈 바디(body) ― 장비 프론트 엔드 모듈 바디는 복수의 벽들을 포함함 ―; 하나 이상의 제1 벽들에 커플링된 하나 이상의 로드 록들 또는 프로세스 챔버들; 하나 이상의 제2 벽들에 제공되는 하나 이상의 로드 포트들 ― 하나 이상의 로드 포트들 각각은 기판 캐리어를 도킹하도록 구성됨 ―; 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내에 하우징된 복수의 정렬 페디스털(pedestal)들; 및 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내에 적어도 부분적으로 하우징된 로드/언로드 로봇을 포함하며, 로드/언로드 로봇은 복수의 블레이드(blade)들을 포함한다. [004] 일부 실시예들에서, 전자 디바이스 프로세싱 조립체들이 제공된다. 전자 디바이스 프로세싱 조립체는, 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 형성하는 장비 프론트 엔드 모듈 바디; 장비 프론트 엔드 모듈 바디의 하나 이상의 제1 벽들에 커플링되는 하나 이상의 로드 록들 ― 하나 이상의 로드 록들은 이송 챔버 또는 프로세스 챔버 내외로 기판들을 교환하도록 구성됨 ―; 장비 프론트 엔드 모듈 바디의 하나 이상의 제2 벽들에 제공되는 하나 이상의 로드 포트들 ― 하나 이상의 로드 포트들 각각은 기판 캐리어를 도킹하도록 구성됨 ―; 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내에 하우징된 복수의 정렬 페디스털들; 및 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내에 적어도 부분적으로 하우징된 로드/언로드 로봇을 포함하며, 로드/언로드 로봇은 하나 이상의 로드 포트들과 복수의 정렬 페디스털들 사이에서 다수의 기판들을 동시에 이송하도록 구성된 복수의 블레이드들을 포함한다. [005] 일부 실시예들에서, 장비 프론트 엔드 모듈을 동작시키는 방법이 제공된다. 방법은, 수직으로-적층된 기판 저장 디바이스들에 접근하도록 로드/언로드 로봇의 블레이드들을 수직으로 정렬된 포지션으로 이동시키는 단계; 및 복수의 정렬 페디스털들에 동시에 접근하도록 로드/언로드 로봇의 블레이드들을 수직으로 오정렬된 포지션으로 이동시키는 단계를 포함한다. [006] 본 개시내용의 이들 및 다른 실시예들에 따라, 다수의 다른 양상들 및 특징들이 제공된다. 본 개시내용의 실시예들의 다른 특징들 및 양상들은 다음의 상세한 설명, 청구항들, 및 첨부 도면들로부터 더 완전하게 명백해질 것이다. [007] 아래에서 설명되는 도면들은 예시적인 목적들을 위한 것이며, 반드시 실척대로 도시될 필요는 없다. 도면들은 어떠한 방식으로도 본 개시내용의 범위를 제한하도록 의도되지 않는다. 가능하다면, 동일하거나 유사한 부분들을 지칭하기 위해 동일하거나 유사한 참조 번호들이 도면들 전반에 걸쳐 사용될 것이다. [008] 도 1a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 복수의 정렬 페디스털들, 및 듀얼 엔드 이펙터(dual end effector)들을 포함하는 로드/언로드 로봇을 갖는 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM)을 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 조립체의 개략적인 평면도를 예시한다. [009] 도 1b는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 복수의 정렬 페디스털들, 및 듀얼 엔드 이펙터들을 포함하는 로드/언로드 로봇을 갖는 EFEM을 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 조립체의 다른 실시예의 개략적인 평면도를 예시한다. [0010] 도 1c는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 복수의 정렬 페디스털들, 및 듀얼 엔드 이펙터들을 포함하는 로드/언로드 로봇을 포함하는 EFEM의 측단면도를 예시한다. [0011] 도 2는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 복수의 정렬 페디스털들 및 측부 저장 포드 장치를 포함하는 EFEM의 도 1c의 뷰 라인(2-2)을 따라 취해진 개략적인 부분 정면도를 예시한다. [0012] 도 3a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 수직으로 정렬된 것으로 도시되는 로드/언로드 로봇의 다수의 블레이드들(예컨대, 듀얼 블레이드들)의 개략적인 평면도를 예시한다. [0013] 도 3b는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 수직으로 오정렬된 것으로 도시되는 로드/언로드 로봇의 다수의 블레이드들(예컨대, 듀얼 블레이드들)의 개략적인 평면도를 예시한다. [0014] 도 4는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 나란히 그리고 중첩되지 않은 구성으로 위치된 2개의 정렬 페디스털들을 포함하는 EFEM의 개략적인 평면도를 예시한다. [0015] 도 5는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 중첩되지 않는 나란한 배향으로 위치된 2개의 정렬 페디스털들을 포함하는 EFEM의 내부의 개략적인 부분 정면 단면도를 예시한다. [0016] 도 6은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 수직으로 오정렬된 로드/언로드 로봇의 다수의 블레이드들(예컨대, 듀얼 블레이드들)의 개략적인 평면도를 예시한다. [0017] 도 7은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 복수의 정렬 페디스털들을 포함하는 EFEM을 동작시키는 방법을 도시하는 흐름도를 예시한다. [0018] 이제, 제공된 예시적인 실시예들에 대한 참조가 상세히 이루어질 것이며, 그 실시예들은 첨부 도면들에 예시된다. 본 명세서에서 설명되는 다양한 실시예들의 특징들은 달리 구체적으로 언급되지 않는 한 서로 조합될 수 있다. [0019] 전자 디바이스 제조에서의 기판들의 프로세싱에서, 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM)은 하나 이상의 기판 캐리어들로부터 기판들을 수용한다. 기판 캐리어들은 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM)의 전방 벽 상에 위치된 로드 포트들에 도킹될 수 있다(예컨대, EFEM 바디의 전방 표면 상에 구성된 로드 포트에 도킹됨). EFEM은 EFEM 바디에 의해 적어도 부분적으로 형성된 EFEM 챔버를 포함할 수 있다. [0020] 프로세싱을 위해 기판을 프로세싱 챔버로 이송하기 전에 기판을 적절히 포지셔닝시키기 위해, 종래 기술의 EFEM들은 프로세싱 전에 기판을 적절한 회전 배향으로 회전시키는 정렬 페디스털을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, EFEM들은 또한 기판들을 저장하는 데 사용되는 측부 저장 포드를 포함할 수 있다. 예컨대, 측부 저장 포드는 프로세싱 챔버(들)에서의 프로세싱으로부터 리턴되는 기판들을 저장할 수 있다. 일부 실시예들에서, 기판들은 측부 저장 포드에서 탈기(degassing) 및/또는 냉각을 겪을 수 있다. 로드/언로드 로봇은 EFEM 챔버에 위치될 수 있으며, EFEM의 벽(예컨대, 그의 후방 벽) 상에 커플링된 하나 이상의 로드 록들 또는 프로세스 챔버들 그리고/또는 정렬 페디스털에 기판들을 전달할 수 있다. 그러나, 그러한 종래 기술의 EFEM들은 낮은 스루풋을 겪을 수 있다. 따라서, 본 명세서에 설명된 실시예들에 따르면, 향상된 스루풋 EFEM들이 제공된다. [0021] 본 명세서에서 설명되는 하나 이상의 실시예들에서, 개선된 스루풋을 포함하는 EFEM들은 EFEM 챔버를 형성하는 EFEM 바디를 포함하며, 여기서 EFEM 바디는 전방 벽, 후방 벽, 및 측벽을 포함할 수 있다. 다수의 블레이드들을 포함하는 로드/언로드 로봇 및 복수의 정렬 페디스털들은 EFEM 챔버 내에 하우징될 수 있다. 기판들은 로드 포트로부터 동시에 이송되고, 복수의 정렬 페디스털들 상에 동시에 배치될 수 있다. 정렬 페디스털들이 기판들을 정렬시킨 이후, 기판들은 복수의 정렬 페디스털들로부터 하나 이상의 로드 록들 또는 프로세스 챔버들로 동시에 이송될 수 있다. 따라서, EFEM을 통한 스루풋이 개선된다. 일부 실시예들에서, 복수의 정렬 페디스털들은 서로 수직으로 오프셋되거나, 서로 수평으로 오프셋될 수 있거나, 또는 정렬 페디스털들은 수직 및 수평 오프셋들의 조합을 포함할 수 있다. [0022] EFEM들, 다수의 블레이드들을 갖는 로드/언로드 로봇들 및 복수의 정렬 페디스털들을 포함하는 EFEM들, 전자 디바이스 프로세싱 조립체들, 및 개선된(증가된) 기판 스루풋을 제공하는, EFEM들을 동작시키는 방법들의 다양한 실시예들의 추가적인 세부사항들이 본 명세서의 도 1a 내지 도 7을 참조하여 추가로 설명된다. [0023] 도 1a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 복수의 정렬 페디스털들(126)을 포함하는 EFEM(116)을 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 조립체(100)의 개략적인 평면도를 예시한다. 전자 디바이스 프로세싱 조립체(100)는 이송 챔버(104)를 정의하는 메인프레임 벽들을 포함하는 메인프레임(102)을 포함할 수 있다. 이송 로봇(106)(점선 원으로 도시됨)은 이송 챔버(104) 내에 적어도 부분적으로 하우징될 수 있다. 이송 로봇(106)은 이송 로봇(106)의 로봇 아암(robot arm)들(도시되지 않음)의 동작을 통해 기판들(105)을 다양한 목적지들로 배치하고 기판들(1