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KR-20260061566-A - Microfiber wiper cleaning tool

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Abstract

본 발명은 극세사 와이퍼 세정툴에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 청소용 밀대에 극세사 와이퍼의 탈부착이 용이하며, 상기 극세사 와이퍼를 장착하는 지그(Jig)부의 재질을 특수 제작하여 극세사 와이퍼를 단단하고 완벽하게 고정함으로써, 충격 방지 및 세정 효율을 증대시키고, 상기 아세톤공급장치를 디스펜서(Dispenser) Type으로 적용하여 세정제인 아세톤을 적정 용출량으로 조절이 가능하며, 누수 및 피부접촉 등이 방지되어 세정자의 안전이 향상되며, 상기 아세톤공급장치에 아세톤 또는 에탄올 등의 세정제 저장 용량(100 ~ 500ml)을 선택할 수 있기에 일일 또는 주간 사용량 산정 후 선택적으로 사용할 수 있고, 상기 아세톤공급장치 및 이동용 청소함 박스의 상단부에 커버를 설치하여 사용시에만 열리고 미사용시 닫아서 세정제의 냄새차단 및 유출되는 것을 방지하여 안전성 및 편리성이 증대되고, 극세사 와이퍼 세정툴의 재질은 내화학성, 정전기 특성 등을 고려하여 선택할 수 있고, Set 구성은 이동식으로 세정에 필요한 모든 물품을 장착하여 사용 가능하기에 편리성과 효율성이 증대되는 특징이 있다.

Inventors

  • 오길환

Assignees

  • 오길환

Dates

Publication Date
20260506
Application Date
20241028

Claims (5)

  1. 청소용 밀대(100)의 하측 압박에 의해 아세톤을 상기 청소용 밀대(100)의 하측에 부착된 극세사 와이퍼(10)에 공급하는 아세톤공급장치(200)와; 상기 청소용 밀대(100)가 외측 일단부에 탈부착이 가능하고, 상기 아세톤공급장치(200)가 내부에 보관되며, 상기 극세사 와이퍼(10)가 내부에 보관되는 이동용 청소함 박스(300); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 극세사 와이퍼 세정툴.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 청소용 밀대(100)는, 손잡이부(110)와; 상기 손잡이부(110)의 하측에 연결되어 길이방향으로 길이가 조절되는 밀대부(120)와; 상측에 상기 밀대부(120)의 끝단부가 회동 가능하게 연결되고, 양측면에 좌,우로 구동되는 락킹부(131)가 형성되는 지그부(130)와; 상기 극세사 와이퍼(10)가 하측면과 네측면 및 상측면 일부를 감싸면서 결합된 뒤, 상기 지그부(130)의 락킹부(131)에 탈부착되는 홀더부(140); 를 포함하여 구성되고, 상기 홀더부(140)는 지그부(130)의 락킹부(131)에서 탈락된 뒤, 사용한 극세사 와이퍼(10)를 미사용한 극세사 와이퍼로 교체하여 지그부(130)의 락킹부(131)에서 부착되는 것을 특징으로 하는 극세사 와이퍼 세정툴.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 아세톤공급장치(200)는 이동용 청소함 박스(300) 내에 일체형 또는 분리형으로 보관되는데, 상부가 개방된 상태로 중공된 내부에 아세톤이 저장되고, 외벽은 내부에 저장된 아세톤의 양을 체크할 수 있도록 투명재질로 형성되는 아세톤 저장용기(210)와; 상기 아세톤 저장용기(210)의 개방된 상부에 구비되고, 상부에 상기 극세사 와이퍼가 부착된 청소용 밀대(100)가 위치하여 압박하면 하측으로 구동되는 노즐 구동부(220)와; 상기 노즐 구동부(220)에 수직으로 관통 연결되어 아세톤 저장용기(210)의 내부까지 구비되고, 상기 노즐 구동부(220)의 구동에 맞춰 구동되어 아세톤 저장용기(210) 내의 아세톤을 상측으로 이송시켜 극세사 와이퍼(10)에 공급하는 노즐부(230); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 극세사 와이퍼 세정툴.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 노즐 구동부(220)는, 상기 아세톤 저장용기(210)의 개방된 상부에 구비되어 아세톤 저장용기(210)의 내부를 개폐하는 동시에 중앙부에 노즐부(230)가 수직으로 관통되어 상기 노즐부(230)를 지지해주는 노즐 고정대(221)와; 상기 노즐 고정대(221)의 내측 상부에 구비되어 상,하로 구동되는데, 상부에 상기 극세사 와이퍼(10)가 부착된 청소용 밀대(100)가 위치하여 압박하면 하측으로 구동되고, 상기 노즐 고정대(221)에 지지된 노즐부(230)의 끝단부가 중앙부에 관통 연결되어 상기 청소용 밀대(100)의 압박에 의해 하측으로 구동시 노즐부(230)의 끝단부도 하측으로 구동시키는 노즐 베이스(222)와; 상기 노즐 고정대(221)의 상부면과 상기 노즐 베이스(222)의 하부면에 양끝단부가 각각 연결되어 노즐 베이스(222)가 하측으로 구동시에는 탄력적으로 받쳐주고, 상기 청소용 밀대(100)의 미압박시 노즐 베이스(222)를 탄성력에 의해 상측으로 구동시키는 스프링장치(223); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 극세사 와이퍼 세정툴.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 이동용 청소함 박스(300)는 상부가 개방된 상태로 중공된 내부에 다수개의 격벽이 형성되어 다수개의 보관부가 형성되고, 상기 다수개의 보관부는 아세톤공급장치(200)가 보관되는 아세톤공급장치 보관부(310)와, 미사용한 극세사 와이퍼가 보관되는 미사용 극세사 와이퍼 보관부(320)와, 사용하고 폐기되는 극세사 와이퍼가 보관되는 폐기용 극세사 와이퍼 보관부(330)로 이루어지며, 상기 이동용 청소함 박스(300)의 일측면에는 청소용 밀대(100)가 탈부착이 가능하도록 밀대보관홀더(340)가 더 형성되고, 상기 아세톤공급장치 보관부(310)가 형성되는 이동용 청소함 박스(300)의 측면에는 아세톤공급장치(200) 내의 아세톤 양을 체크할 수 있도록 투시창(370)이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 극세사 와이퍼 세정툴.

Description

극세사 와이퍼 세정툴{Microfiber wiper cleaning tool} 본 발명은 극세사 와이퍼 세정툴에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 청소용 밀대에 극세사 와이퍼의 탈부착이 용이하며, 상기 극세사 와이퍼를 장착하는 지그(Jig)부의 재질을 특수 제작하여 극세사 와이퍼를 단단하고 완벽하게 고정함으로써, 충격 방지 및 세정 효율을 증대시키는 극세사 와이퍼 세정툴에 관한 것이다. 최근 정보 통신 기술의 발달과 개인용 컴퓨터 및 정보 통신 장비가 급속도로 보급됨에 따라 반도체 장치는 고속의 처리 속도와 대용량의 저장 능력 및 높은 안정성이 요구되고 있다. 이에 따라 반도체 장치의 제조기술은 집적도, 신뢰도 및 응답 속도 등을 향상시키는 방향으로 발전되고 있다. 일반적으로, 상기 반도체 장치는 증착, 사진, 식각, 이온 주입, 연마, 세정 건조 등의 각 단위 공정들을 반복적으로 수행하여 웨이퍼 상에 전기적 특성을 갖는 패턴들을 형성함으로써 제조한다. 예를 들어 반도체 생산공정 중 챔버의 주기적인 수선을 위해서 아세톤이 묻어 있는 폴리와이퍼를 사용 중 아세톤이 묻어 있는 폴리와이퍼는 시간이 지나면 녹기 때문에 폴리와이퍼와 아세톤을 별도 포장하여 사용 직전 작업자가 물리적으로 결합한다. 그러나, 아세톤의 강한 휘발성으로 사용시 작업자의 안전에 부정적인 영향을 미치는데, 아세톤은 휘발성이 높기 때문에 손,발톱 주변의 피부에 묻는 경우 피부의 지방질을 용출시킴과 동시에 피부 수분을 증발시켜 피부를 거칠게 하며, 손,발톱에 심한 자극과 탈수, 탈지 효과를 일으키는 문제가 있다. 또한, 일반적으로 아세톤을 와이퍼 등에 도포하거나 적셔서 세정에 사용하기에 사용의 불편함이 있고, 그것을 해소하기 위해 도구를 이용하여 아세톤이 적셔진 와이퍼를 체결하여 세정에 사용하지만, 작업자의 안전에 부정적인 영향을 미치는 아세톤을 사용자가 직접 적셔서 도구에 채결하는 불편함과 세정에 대한 시간이 증가하는 문제점이 있었다. 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 극세사 와이퍼 세정툴을 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 청소용 밀대를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 지그부와 홀더부를 나타낸 확대 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 지그부와 홀더부를 나타낸 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 극세사 와이퍼의 체결을 나타낸 순서도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 아세톤공급장치를 나타낸 단면 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 아세톤공급장치를 나타낸 단면도이고, 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 노즐부를 나타낸 단면도이고, 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 청소용 밀대와 아세톤공급장치를 나타낸 작동 단면도이다. 이와 같은 특징을 갖는 본 발명은 그에 따른 바람직한 실시예를 통해 더욱 명확히 설명될 수 있을 것이다. 이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 극세사 와이퍼 세정툴을 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 청소용 밀대를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 지그부와 홀더부를 나타낸 확대 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 지그부와 홀더부를 나타낸 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 극세사 와이퍼의 체결을 나타낸 순서도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 아세톤공급장치를 나타낸 단면 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 아세톤공급장치를 나타낸 단면도이고, 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 노즐부를 나타낸 단면도이고, 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 청소용 밀대와 아세톤공급장치를 나타낸 작동 단면도이다. 도 1 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 본 발명의 극세사 와이퍼 세정툴은 극세사 와이퍼(10)가 하측에 탈부착되는 청소용 밀대(100)와; 상기 청소용 밀대(100)에 부착된 극세사 와이퍼(10)가 상측에 위치한 뒤, 상기 청소용 밀대(100)의 하측 압박에 의해 아세톤을 극세사 와이퍼(10)에 공급하는 아세톤공급장치(200)와; 상기 청소용 밀대(100)가 외측 일단부에 탈부착이 가능하고, 상기 아세톤공급장치(200)가 내부에 보관되며, 상기 극세사 와이퍼(10)가 내부에 보관되는 이동용 청소함 박스(300)로 구성된다. 상기 청소용 밀대(100)는 도 1 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 사용자가 붙잡고 청소용 밀대를 움직이는 손잡이부(110)와; 상기 손잡이부(110)의 하측에 연결되어 길이방향으로 길이가 조절되는 밀대부(120)와; 상측에 상기 밀대부(120)의 끝단부가 회동 가능하게 연결되고, 양측면에 좌,우로 구동되는 락킹부(131)가 형성되는 지그부(130)와; 상기 극세사 와이퍼(10)가 하측면과 네측면 및 상측면 일부를 감싸면서 결합된 뒤, 상기 지그부(130)의 락킹부(131)에 탈부착되는 홀더부(140)로 구성된다. 상기 밀대부(120)는 2단 밀대로 길이가 최소 300mm에서 최대 600mm까지 조절이 가능하고, 상기 2단의 밀대가 상호 겹쳐진 상태에서 길이방향으로 길이가 조절된 뒤, 조임부재의 조임과 풀림에 의해 더이상 길이방향으로 길이가 조절되지 않도록 고정시켜서 사용된다. 상기 지그부(130)는 상부에 밀대부(120)의 끝단부가 힌지장치에 의해 힌지 결합되어 밀대부(120)가 좌,우로 회동되고, 상기 지그부(130)의 양측면에는 홀더부(140)를 탈부착시키는 락킹부(131)가 형성된다. 여기서, 상기 락킹부(131)는 지그부(130)의 양측면에 스프링에 의해 결합되어 좌,우로 탄성적으로 구동되고, 상기 락킹부(131)의 외측 끝단부에 홀더부(140)와 결착되는 결착부(132)가 형성되며, 상기 결착부(132)는 수직 단면상 상광하협 형태로 형성되어 홀더부(140)가 쉽게 결착되지만 이탈은 쉽게 빠지지 않는 구조로 형성된다. 이때, 상기 홀더부(140)가 탈락되려면 락킹부(131)를 지그부(130) 측으로 구동시켜 락킹부(131)가 홀더부(140)에서 탈락되면 홀더부(140)는 외부로 탈락시킬 수 있다. 상기 홀더부(140)는 sus304 재질로 탄탄하여 지그부(130)에 여러번 탈부착 및 여러번 극세사 와이퍼(10)를 교체하여 세정에 사용하여도 파손 등이 쉽게 발생하지 않는다. 여기서, 상기 홀더부(140)는 바닥판 사면에 수직으로 측판이 형성되고, 상기 사면 측판 중 락킹부(131)와 결착되는 양측판 내측에는 락킹부(131)의 결착부(132)에 결착되도록 결착돌기(141)가 수평으로 돌출 형성된다. 그리고, 상기 홀더부(140)에 극세사 와이퍼(170mm * 170mm)의 결합방식은 극세사 와이퍼(10)를 펼친 상태에서 상부에 홀더부(140)를 올려놓은 뒤, 상기 극세사 와이퍼(10)의 모서리부를 접어서 홀더부(140)의 내측에 넣고, 그 상태에서 상기 지그부(130)가 홀더부(140)의 상측을 통해 낙하되어 결합되면 극세사 와이퍼(10)가 홀더부(140)에 고정된다. 이렇듯, 상기 홀더부(140)는 지그부(130)의 락킹부(131)에서 탈락된 뒤, 사용한 극세사 와이퍼(10)를 미사용한 극세사 와이퍼(10)로 교체하여 지그부(130)의 락킹부(131)에서 부착된다. 상기 아세톤공급장치(200)는 도 1 및 도 6 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 청소용 밀대(100)에 부착된 극세사 와이퍼(10)가 상측에 위치한 뒤, 상기 청소용 밀대(100)의 하측 압박에 의해 아세톤을 극세사 와이퍼(10)에 공급하도록 아세톤 저장용기(210)와, 노즐 구동부(220)와, 노즐부(230)로 구성된다. 이때, 상기 아세톤공급장치(200)는 이동용 청소함 박스(300) 내에 일체형 또는 분리형으로 보관된다. 상기 아세톤 저장용기(210)는 상부가 개방된 상태로 중공된 내부에 아세톤이 저장되고, 상기 아세톤 저장용기(210)의 외벽은 내부에 저장된 아세톤의 양을 체크할 수 있도록 투명재질로 형성된다. 이때, 상기 아세톤 저장용기(210)에 아세톤 용액이 리필되는데, 1회 리필량은 최대 약 500cc 정도 충진(100~500)된다. 상기 노즐 구동부(220)는 아세톤 저장용기(210)의 개방된 상부에 구비되고, 상기 노즐 구동부(220)의 상부에 상기 극세사 와이퍼(10)가 부착된 청소용 밀대(100)가 위치하여 압박하면 하측으로 구동되도록 노즐 고정대(221)와, 노즐 베이스(222)와, 스프링장치(223)로 구성된다. 여기서, 상기 노즐 고정대(221)는 아세톤 저장용기(210)의 개방된 상부에 구비되어 아세톤 저장용기(210)의 내부를 개폐하는 동시에 중앙부에 노즐부(230)가 수직으로 관통되어 상기 노즐부(230)를 지지해준다. 이때, 상기 노즐 고정대(221)는 수직 단면상 "┗┛" 형태로 형성되어 내부에 노즐 베이스(222)와 스프링장치(223)가 구비된다. 그리고, 상기 노즐 베이스(222)는 노즐 고정대(221)의