TW-I925785-B - Dual-channel gas spray head, air intake device, and vapor deposition equipment

Inventors

• 毛緒光
• 任方波
• 姜勇
• 吳紅星
• 何偉業
• 李遠
• 李雪子
• 韓子迦

Assignees

• 大陸商中微半導體設備（上海）股份有限公司

Dates

Publication Date

20260511

Application Date

20251027

Priority Date

20241230