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TW-M683085-U - Electromagnetic field control homogenization structure for sputtering machine planar target

Inventors

  • 林彥丞
  • 戴文逸
  • 唐謙仁
  • 洪昌澤
  • 詹子厚
  • 陳永昇

Assignees

  • 大永真空設備股份有限公司

Dates

Publication Date
20260511
Application Date
20260212